Способ изготовления меры толщины покрытия

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ №РЫ ТОШЩНЫ ПОКРЫТИЯ, заключающийся -в доводке базовой поверхности подложки , нанесении покрытия и аттестации толщины покрытия, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления покрытий переменной толщшш, базовую поверхность подножки выполняют цилиндрической или сферической, покрытие наносят на всю поверхность и затем обрабатывают базовую и противолежащую ей поверхности до обеспечения их плоскопараллельности .

COt03 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (!9) (11) (5!) 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К ABTGPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3743356/25-28 (22) 16.05.84 (46) 23.10.85. Бюл. У 39 (72) Р.А. Лаанеотс (7i) Таллинский политехнический институт (53) 620. 179. 142. 6 (088 ° 8) (56) Измерительная техника, 1978, 9 2, с. 20 21. (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕРЫ

ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ, заключающийся в доводке базовой поверхности подложки, нанесении покрытия и аттестации толщины пжрытия, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления покрытий переменной толщины, базовую поверхность подложки выполняют цилиндрической или сферической, покрытие наносят на всю поверхность и затем обрабатывают базовую и противолежащую ей поверхности до обеспечения их плоскопараллельности.

Изобретение относится к измери, тельной технике, а именно к средствам поверки толщиномеров покрытий.

Цель изобретения — упрощение технологии изготовления покрытий переменной толщины.

На фиг.1 представлена мера толщины покрытия, вид спереди; на фиг.2 — мера с цилиндрической базовой поверхностью, подложки, вид сверху; на фиг.3 — мера со сферической базовой поверхностью подложки, вид сверху.

Изготовленная предлагаемым способом мера толщины покрытия содержит подложку 1 и покрытие 2. Базовая поверхность подложки 1 под покрытие

2 выполнена цилиндрической (фиг.2) или сферической (фиг.3) с радиусом кривизны R . .В середине части подложки 1 может быть выполнен плоский участок 3 для настройки на ноль толщиномеров покрытия, тогда покрытие 2 нанесено на базовущ поверхность подложки 1 так, что верхняя поверхность покрытия 2 совпадает с поверхностью участка 3. Прочие размеры меры определяются, исходя из размеров и характеристик датчиков поверяемых толщиномеров.

Способ изготовления меры толщины покрытия осуществляется следующим образом, Изготавливают иэ нуяачого материала подложку, Базовую поверхность подложки выполняют цилиндрической или сферической и осуществляют до.водку указанной поверхности — обрабатывают по следующим требованиям: шероховатость IIQ парамет) (Я* р Д2 2

3D где h; — толщина покрытия в точке на расстоянии 0; от оси симметрии меры, — радиус кривизны верхней поверхности подложки, — расстояние ребра покрытия от оси симметрии меры; ; — расстояние от оси симметрии меры до точки, где определяется толщина покрытия.

1186937 2 ру Й 4 0,16 мкм и допускаемая нецилиндричность (несферичность) 0,10,2 мкм. При выполнении этик требований можно измерять с высокой точностью радиус кривизны обработанной поверхности, например, с помощью интерференционных способов измерения длины.

После операций доводки базовой

10 поверхности подложки на всю эту поверхность без изоляции некоторых ее частей наносят гальваническим или каким-либо другим способом покрытие 2. После нанесения покрытия 2

15 рабочую поверхность меры (покрытие и цилиндрической формы поверхность подложки или сферической формы поверхность подложки) доводят плоскопараллельной противолежащей поверх29 ности подложки меры. После данных операций мера толщины покрытия готова к применению, так как одновременно с доводкой она также аттестуется по толщине с использованием

25 формулы

1186937

Тирах 650 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6533/43

Филиал ППП "Патент" ° г. Ужгород, ул. Проектная,4

Составитель И. Рекунова

Редактор Н. Пушненкова Техред Л.Микеш Корректор.В 1ирняк