Способ активного контроля толщины и скорости нанесения пленки
СПОСОБ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ И СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНКИ , заключающийся в том, что в среде наносимого материала устанавливают отрезок прямоугольного СВЧ- волновода с двумя ортогональными сквозными отверстиями, в одной плоскости через отверстие в широкой стенке прямоугольного СВЧ-волновода протягивают элемент-свидетель, а через другое отверстие направля ют поток наносимого материала, измеряют электрические параметры отрезка прямоугольного СВЧ-волновода и судят о толщине и скорости нанесения пленки, о т л и ч а ю - щ и и с я тем, что, с целью повьшения точности контроля, в качестве электрических параметров прямоугольного СВЧ-волновода измеряют амплитуды проходящей и отраженной от элемента-свидетеля СВЧ-волны и в моменты их равенства дискретно перемещают элемент-свидетель, а о толщине и ско (Л рости нанесения пленки судят соответственно по количеству и частоте пере-, мещения элемента-свидетеля.
СОКИ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (! 9) (1!): (s l) 4 G 01 В 15/02
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ф ):, .„, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ/ „, 13l
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ мещения элемента-свидетеля. (21 ) .3708001/24-28 (22) 06.03.84 (46) 07.09.85. Бюл. - 33 (72) В.С.Колбун и В.И.Захаров (71) Минский радиотехнический институт (53) 620.179.)4(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
У 777413, кл. G 01 В 15/02, 1980.
Авторское свидетельство СССР
N - 974120, кл. G 01 B 15/02, !982. (54)(57) СПОСОБ АКТИВНОГО КОНТРОЛЯ
ТОЛЦИНЫ И СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНКИ, заключающийся в том, что в среде наносимого материала устанавливают отрезок прямоугольного СВЧволновода с двумя ортогональными сквозными отверстиями, в одной плоскости через отверстие в широкой стенке прямоугольного СВЧ-волновода протягивают элемент-свидетель, а через другое отверстие направля ют поток наносимого материала, измеряют электрические параметры отрезка прямоугольного СВЧ-волновода и судят о толщине и скорости нанесения пленки, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, в качестве электрических параметров прямоугольного СВЧ-волновода измеряют амплитуды проходящей и отраженной от элемента-свидетеля СВЧ-волны и в моменты их равенства дискретно перемещают элемент-свидетель, а о толщине и скорости нанесения пленки судят соответственно по количеству и частоте пере-, 1 1177663 z
Изобретение относится к контроль- icy. Одновременно измеряют амплитуды но-измерительной технике и может проходящей и отраженной СВЧ-волны; . быть использовано для контроля от элемента-свидетеля. толщины и скорости роста пленки в процессе ее нанесения на подложку. g В момент равенства амплитуд отраЦель изобретения - повышение точ- женкой и прошедшей СВЧ-волны протягиности контроля толщины и скорости вают дискретно элемент-свидетель нанесения пленки. таким образом, чтобы в волноводе поСпособ осуществляется следующим мещался новый отрезок элемента-свиобразом, i0 детеля с первоначальными параметраВ зоне контроля устанавливают ми. Моменту равенства отраженной отрезок прямоугольного СВЧ-волиово- .и прошедшей амплитуды СВЧ-волны соотда, с помощью СВЧ-генератора возбуж- ветствует строго определенная толщидают в нем СВЧ-волны, Через отвер- на нанесенной пленки на элементе-сви/ стия в широкой стенке СВЧ-волново- fS детеле, которая равна нанесенной за да притягивают элемент-свидетель, это же время толщине пленки на подложнапример, металлическую проволоку ке. Многократно повторяя цикл измепостоянного диаметра. Через другое рений, определяют толщину нанесенной отверстие в узкой стенке волновода, пленки на подложке по количеству пекоторое находится в одной плоско- щб ремещений элемента-свидетеля, а о сти с первым и ортогонально ему нап-, скорости нанесения пленки судят по
) равляют наносимый материал на лодлож- частоте этих перемещений.
Составитель Н.Давыдов
Редактор E,Ïàïï Техред M.Íàäü Корректор А. Зимокосов
Заказ 5541/41 Тираж 651 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Б-35 Раушская наб., д, 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул, Проектная, 4
