Способ измерения толщины полупроводниковых слоев материала
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ МАТЕРИАЛА ПО авт.св. О 697801, отличающийся Тем, что, с целью повышения точности и расширения пределов измерения толщины многослойных материалов , на исследуемом материале под жидкостньал электродом создают косой срез и после пропускания импульса электрического тока между материалом и жидкостным электродом измеряют расстояния между границами, соответствующими областям выброса вещества различных слоев.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТ ИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) А
3(S1) G 0 В
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ) 1
) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ (61) 697801 (21) 2939005/18-28 (22) 09.06.80 (46) 23.08.84. Бюл. Р 31 (72) В.Г.Кустов и О.М.Асанов
{53) 621.317,39:531.717(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР
)) 697801, кл. G 01 В 7/06, 1978 {прототип). (54) (57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛ()(ИНЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СЛОЕВ МАТЕРИАЛА по авт.св. Ф 697801, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности и расширения пределов измерения толщины многослойных материалов, на исследуемом материале под жидкостным электродом создают косой срез и после пропускания импульса электрического тока между материалом и жидкостным электродом измеряют расстояния между границами, соответствующими областям выброса вещества различных слоев.
1109578
Составитель В.Николаев
Редактор Л.Гратилло ТехредЛ.Мартяшова Корректор В.Гирняк
Заказ 601б/26 Тираж 587 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля параметров полупроводниковых материалов при их изготовлении.
По авт.св. Р 697801 известен способ измерения толщины полупроводниковых слоев материала, заключающийся в том, что пропускают импульс электрического тока между материалом и жидкостным выпрямляющим электродом и измеряют глубину микроскола, вызванного локальным тепловым выбросом вещества (.1 .
Недостатком известного способа являются недостаточно высокие точность и предел измерения.
Целью изобретения является повышение точности и расширение пределов измерения толщины многослойных материалов.
Поставленная цель достигается тем, что согласно способу на исследуемом материале под жидкостным электродом создают косой срез и после пропускания импульса электрического тока между материалом и жидкостным электродом измеряют расстояния между границами, соответствующими областям выброса вещества различных слоев.
Способ осуществляется следующим образом.
На кромке измеряемой пластины изготавливают микроскопический косой срез, например, погружением образца в химический травитель. На поверхности косого среза устанавливают жидкостной выпрямляющий электрод, вспомогательный электрод устанавливают в произвольной точке образца. Через электрод на срезе пропускают импульсный ток (например, 1-3 импульса) в запирающей контакт полярности (например, отрицательная полярность при электронной проводимости полупроводника) и с разностью потенциалов, превышающей напряжение пробоя полупроводника.
Пропусканием тока через полупроводниковые слои в площади электрода создают, резкий градиент температуры, направленный к поверхности среза, который пропорционален электропроводности слоев. Наличие теплового градиента, вызванного лавинным током, приводит к локальной возгонке вещества в виде множества микросколов и С плотностью, пропорциональной электропроводности слоев, что обеспечивает формирование в площади контакта светового контраста, обозначающего геометрические размеры слоев.
