Способ контроля чистоты обработки поверхности

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ,заключающийся в том, что направляют на контролируемую поверхность поток, ионизирующего излучения под углом к ней и регистрируют интенсивность обратнорассеянного поверхностью излучения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерения , угол падения выбирается в диапазоне 60+15° по отношению к поверхности , угол выхода обратно-рассеянного излучения - 10±5 , а в качестве источника ионизирующего излучения используют альфа-источник. (Л с

СОЮЗ COBETCHHX

ОН

РЕСПУБЛИК (у)4 С 01 В 15/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3М- Ф фЮМ(А ВЮ М

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3447156/25-28 (22) 31. 05,82 (46) 23.08.85. Бюл. Ф 31 (72) В.Н.Бугров и С.А.Карамян (71) Объединенный институт ядерных исследований (53) 531.717(088.8) (56) 1. Turkevich А. Science, 1961, 134

3480, р. 672-673.

2. Румянцев С.В., Парнасов В.С.

Применение, бета-толщиномеров покрытий в промьппленности. М., Атомиздат, 1980, с. 72-74 (прототип).

„„SU„„1105001 А (54) (57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ

ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что направляют на контролируемую поверхность поток{ ионизирующего излучения под углом к ней и регистрируют интенсивность обратнорассеянного поверхностью излучения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, угол падения выбирается в диапазоне 60+15 по отношению к поверхности, угол выхода обратно-рассеяно ного излучения — 10й5, а в качестве источника ионизирующего излучения. используют альфа-источник.

001

1 1105

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, к способам для измерения шероховатости поверхности с помощью волновых излучений или потоков элементарных частиц.

Известен способ контроля поверхности, реализуемый устройством, состоящим из источника альфа-частиц, детектора и ЭлекТронной системы, 10 измеряющей спектр обратно-рассеяных на образце альфа-частиц для определения элементного состава вещества Pl ).

Его недостатком является то, что 15 оптимизация условий определения ядерного состава материала исключает чувствительность устройства к неровностям поверхности.

Наиболее близким к изобретению 20 является способ контроля чистоты обработки поверхности, заключающий-. ся в том, что направляют на контролируемую поверхность поток ионизирующего излучения под уГлом к ней и д регистрируют интенсивность обратно-рассеянного поверхностью излуче ния Г2).

Его недостатком является узкий диапазон действия для контроля толь- ЗО ко сравнительно крупных неровностей, соответствующих 2-4 классу точности обработки. Это ограничение связано с особенностями пробега бета-частиц в веществе, а именно с относительно большой величиной среднего пробега бета-частиц (десятки и сотни микро метров) и с бо.;ьшим разбросом пробегов.

Целью изобретения является расши- 40 рение диапазона измерения контролируемых неровностей в область микронеровностей, соответствующих средним классам точности обработки вплоть до 8 класса.

45 точника ионизирующего излучения используют альфа-источник.

На чертеже показана схема устройства, реализующего способ контроля чистоты обработки поверхности.

С одной стороны от объекта 1 контроля расположены коллимированные источник 2, детектор 3 излучения и электронная схема 4 регистрации обратно-расссеянного поверхностью излучения. Угол о(падения излучения выбран в диапазоне 60+10 по отношению к поверхности, угол р выхода обратно-рассеянного излучения—

10 5 . В качестве источника 2 ионизирующего излучения использован альфа-источник ° Источник 2 и детектор

3 заключены в корпуса-коллиматоры

5и6, Способ осуществляется следующим образом.

Альфа-частицы выходят из корпусаколлиматора 5 через фольгу и падают на поверхность объекта контроля.

Рассеянные на угол 75О(относительно исходного направления) частицы вью ходят под углом около 15 к поверхности объекта контроля, проходят через фольгу, затем через корпус-коллиматор 6 и регистрируются детектором 3. Все элементы закреплены на подставке 7 и расположены в условиях атмосферного давления воздуха.

Электрический сигнал с детектора 3 излучения усиливается и регистрируется в схеме 4 регистрации, которая опрецеляет интенсивность обратно-рассеянных альфа-частиц, рассеянных объектом контроля, которая зависит от чистоты обработки поверхности (при постоянных условиях измерения).

Таким образом, при увеличении неровностей поверхности объекта контроля интенсивность рассеянных частиц убывает.

Цель достигается тем, что по способу контроля чистоты обработки поверхности, заключающемуся в том, что направляют на контролируемую поверх- SO ность поток ионизирующего излучения под углом к ней и регистрируют интенсивность обратно-рассеянного поверхностью излучения, угол падения излучения выбирают в диапазоне 55

60+15 по отношению к поверхности, угол выхода обРатно-рассеянного излучения — 10+5, а в качестве исНаибольшая чувствительность способа к микронеровностям объекта контроля создается в случае, когда угол падения излучения выбирается в диапазоне 60+15 по отношению к поверхности, а угол выхода обратно-рассеянного излучения — 10+5 . Альфа-источник по сравнению с другими типами источников позволяет расширить диапазон-контролируемых микронеровностей вплоть до размера десятых долей микрометра из-за малого пробега альфа-частиц.

Редактор Л.Утехина Техред С.Мигунова КорректорМ.Максимишинец I

Заказ 5766/3 Тираж 651 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 10500

Определение класса обработки по- верхности с помощью данного способа производится путем сравнения измеренной скорости счета рассеяния от образца с градуировочной кривой зависимос- 5 ти скорости счета рассеянных альфа1 4 частиц от класса обработки поверки и"ти. Градуировочная кривая должна быть получена с помощью эталонов обработ— ки поверхности, сделанньж из того же материала, что и контролируемый образец, при этом же уровне дискриминации порогового устройства