Способ получения омического контакта металла с кремнием
М 118909 .Класс 21g, 13,1
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
В. Г. Мельник и И. Г. Мельник
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОМИЧЕСКОГО КОНТАКТА МЕТАЛЛА
С КРЕМНИЕМ
Заявлено 17 февраля 1958 г. за № 592463/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 7 за 1959 г.
Известные способы создания омического контакта кремния с металлом заключаются в гальваническом нанесении таких металлов как никель, медь, золото и др. непосредственно на поверхность кремния.
Омические контакты, полученные таким путем, имеют, как правило, большое переходное сопротивление и малую механическую прочность.
Предлагаемый способ позволяет получить контакт с малым переходным сопротивлением и высокой механической прочностью.
Для этой цели на поверхность кремния наносят, например, методом конденсации из газовой фазы в вакууме слой германия, который покрывают слоем металла контакта, например никелем.
Создание омического контакта с кремнием осуществляется следующим образом, В вакууме порядка 10 мм Hg на нагретый до 550 кремний, предварительно протравленный в смеси плавиковой и азотной кислот (1: 1), конденсируется испаряемый германий.
Затем испарение прекращается и температура кремния повышается до 700 — 750 и при этой температуре выдерживается 10 мин.
Нагревание кремния осуществляется излучением от ленточного молибденового нагревателя, помещенного над кремнием.
После охлаждения и извлечения из вакуумной установки на полученный на кремнии слой германия гальванически наносится никель.
В случае кремния р-типа для испарения применяются р-германий или же германий со слабо выраженной электронной проводимостью.
В случае кремния и-типа наносится германий с резко выраженной электронной проводимостью. № 118909
Предмет из обретения
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Редактор Л. А. Блатова Гр. 97
Поди. к печ. 31.1И-59 и, Тираж 920 Цена 25 коп.
Информационно-издательский отдел.
Объем 0,17 п. л. Зак. 2031
Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Петровка, 14.
Способ получения омического контакта металла с кремнием для кремнйевых полупроводниковых приборов, отличающийся тем, что для получения контакта с малым переходным сопротивлением и с высокой механической прочностью на поверхность кремния наносят, например, методом; конденсации из газовой фазы в вакууме слой германия который покрывают слоем металла контакта, например никелем.
°
