Способ получения рельефного изображения на диэлектрической подложке

 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЛЬЕФНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ , включающий нанесение на нее слоя олова, экспонирование ультрафиолетовым и (или) видимым светом и проявление в водном растворе,6 т л ич а ю щ и и с я тем, что, с целью одновременного повьвиения светочувствительности системы и сокращения числа операций обработки, наносят слой олова толщиной 20-100 нм, слой йодида олова (п) толщиной 30-200 нм, а проявляют в растворе, содержащем дополнительно феррицианид калия или хлорид железа (Ш) в концентрации 10-500 и 5-300 г/л соответственно.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

NKINNt

РЕСПУЬЛИК (19) (111

ЗСИ) 0 03 С 5/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТИРЬПИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H kETCPCHtECV CEHEETEfIhCTEV (21 ):354 3241/18-10 (22) 08.12.82 (.46) 07.05.84. Бюл. В 17 (72) _#_.T.Êîñòûøèí, В.С.Костко, В.A.Äàíüêî, П.Ф.Романенко и Н.В.Сопинский (71) Институт полупроводников

AH УССР (53) 771.5(088.8) (56.) 1. Патент Англии 9 1382 ° 071 ° кл. G 2 С, опублик. 1975 (прототип) (54)(57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РЕЛЬЕФНОГО

ИЭОБРАЖЕНИЯ, HA ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ, включающий нанесение на нее слоя олова, экспонирование ультрафио. летовым и (или) видимым светом и проявление в водном растворе, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью одновременного.повышения светочувствительности системы и .сокращения числа операций обработки, наносят слой олова толщиной 20-100 нм, слой йодида олова.(П) толщиной 30-200 нм, а проявляют s растворе, содериащем дополнительно феррицианид калия или хлорид железа (Ю) в концентрации

10-500 и 5-300 г/л соответственно.

1091107 всего слоя йодистого олова (П) и продуктов фотолиза.

Время проявления зависит от толщины слоев, концентрации соли железа (Irl),температуры раствора и лежит

S в интервале от нескольких секунд до нескольких минут. После прошивки образца в дистиллированной воде и сушки получают рельефное изображение из частиц олова с разрешающей спо30 собиостью 3000 лин/мм.

Способ осуществляется следующим образом.

На подпожку из стекла или кварца,, окиси. хрома, слюды, металла,керами» ки, лавсана, органического стекла в вакууме 10 мм рт.ст термическим

Ф у испарением наносят слой олова толщиной от нескольких нанометров до сотен нанометров.

На этот слой наносят слой двуйодистого олова толщиной от десятков до сотен нанометров °

На систему слоев сб стороны слоя йодида олова (П) проецируется изоб-. ражение заданной конфигурации, на25. пример интерференционной картины, образованной двумя пучками лазерного излучения, или иэображение трафарета..В процессе экспонирования системы ультрафиолетовым и (или) видимым

30 светом в местах, подверженных облучению, двуйодистое олово вступает в химическое взаимодействие с оловом с образованием продуктов; после экспонирования двуйоднстое олово, 35 не вступивиее в химическое взаимодействие с оловом, и продукты взаимодействия на экспонированных участках растворяются s водном растворе феррицианида калия илн хлорида желе40

Пример 1. На стеклянную подложку в вакууме 10 мм рт.ст ° последовательно наносят слои олова и двуйодистого олова толшинами 100 и

210 нм соответственно. Ha,образец проецируют интерФеренционную картину, образованную двумя когерентными пучками света от лазера "Игла4" (488 нм)с пространственной частотой 1300 мм 1 . 6ри энергетической

50 освещенности 10 Бт/см время облучения составляет 10 мин.. Под действием толщиной 20-600 нм, слой- йодида олова (П) толщиной 30-200 нм, а проявляют в растворе, содержащем. дополнительно феррицианид калия или $5 хлорид железа (Ш) в концентрации

10-500 и 5-300 r/ë соответственно.

Комбинация олова и йодида олова (П),в слоях заявленной толщины обес- . печивает эффективное окисление метал. 60 лических частиц олова и их удаление при проявлении экспонированного фото слоя в растворе феррицианида калия или:хлорида железа (ta), при котором .происходит одновременное растворение у5

Изобретение относится к способам получения рельефннх иэображений систем металл — полупроводник и может быть использовано для изготовления джозефсоновских контактов для сверхпроводящих микросхем, диФракциoBHbTx решеток, поляризаторов электромагнитного излучения решеточного типа и других оптотехнических иэделий.

Известны способы получения рельефного изображения на диэлектрической подложке, один из которых включает последовательное нанесение на нее слоя серебра, слоя сульфида мышьяка, экспонирование усльтрафиолетовым н видимым светом и проявление в водном растворе гидроокиси щелочного металла.

Недостатком известного способа является использование драгоценного металла — серебра.

Наиболее близким к предлагаемому является способ получения рельефного изображения на диэлектрической подложке, включающий последовательное нанесение на нее слоя олова, слоя йодида свинпа (П), экспонирование ультраФиолетовым и .видимым светом, проявление в водном растворе гидроокиси щелочного металла. и усиление полученного изображения каталитичес-. ким осаждением металлов.

Способ осуществляется без приме-. нения серебра Щ .

Однако свето чувствительность системы падает в сравнении с системой

Ag AS 8, благодаря чему требуется . усиление изображения после проявления каталитическим осаждением металлов.

Цель изобратеиия — одновременное повышение светочувстельности системы и сокращение числа операций обработки.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения рельефного изображения на диэлектрической подложке, включающему нанесение на нее слоя олова, экспо-: нирование ультрафиолетовым и (или) видимым светом и проявление в водном растворе, наносят слой олова электромагнитного излучения происходит взаимодействие между слоем олова и слоем двуйодистого олова с образованием продуктов взаимодействия. После экспонирования образец погружают в водный раствор феррицианида калия 10 r/ë на 8 мин.

Затем образец проваавают дистиллированной водой и высушивают. Получают рельефное иэображение в слое олова с расстоянием между полосами 770 нм.

Пример 2. На стеклянную подложку в вакууме 10 мм рт,ст. iroследовательно наносят слои олова

1091107

Составитель В.Кондратьев.

Редактор М.Ткач Техред M.Teaep Корректор A. Зимокосов

Заказ 3078/42 Тираж 464 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, F.-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 и двуйодистого олова с толщинами

100 и 204 нм соответственно. Образец облучают через фотошаблон интегральным потоком ксеноновой лампы.ДКсЭл1000 в течение 15 мин, на расстоянии

40 см. После экспонировния образец 5 погружают в водный раствор треххлористого железа 300 г/л на 5 мин,про.внвают дистиллированной водой и высушивают. Получают. рельефное изображение в.слое олова с глубиной рельефа 10

100 нм и размерами элементов 1-3,мкм.

Пример 3. На,бумажную подложку в условиях, аналогичных описанным в .примерах 1 и 2, наносят слои олова-и двуйодистого олова с толщинами 20 и. 34 нм соответственно.

Светочувствительный материал освещают через негатив контактным способом интегральным потоком от лампы накалйвания мощностью 60 Вт, помещенной на расстоянии 15 см, в течение 2 мин.

После экспонирования образец обрабатывают в водном растворе феррицианида

:калия в течение 30 с, ополаскивают в дистиллированной воде и высушивают. Получают рельефное изображение .негатива.

; Технико-экономические преимущества предлагаемого способа в сравнении с прототипом заключаются в экономии энергетических и временных затрат, необходимых для реализации способа,. обусловленной повышением светочувст.вительности предложенной системы, а также ее относительной нетоксиМностью,