Полупроводниковый преобразователь давления

 

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий цилиндрический трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, выполненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, о т ли ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения надежности, в нем опорный элемент выполнен в виде по крайней мере одного отрезка цилиндрической трубки, который наружной поверхностью прикреплен к внутренней поверх;ности корпуса, а мембрана закреплена на торце отрезка трубки. О) сх 00 СХ) 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

IW Ю

РЕСПУБЛИК

{19) {И) 3(51) С 01 ? 9/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К AB TOaCHOMY СниЦЕТВЪСтВМ (21) 3274393/18-10 (22) 08.04.81 (46) 23,01.84.Бюл, В 3 (72) Н.Н.Хоменко, {0.Г.Задороаный, С.И.Ковтун, О.В. Гнатюк, A.Ê.Ìàòâååâ, З С;Логинова и A ° B.Ñàáëèí (53) 531.787(088.8) (54)(57) ПОЛУПРОВОДНИКОВЫИ ПРЕОБРАЗОВА1ЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ, содержащий цилиндрический трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, вы.полненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения надекности, в нем опорный элемент выполнен в виде по крайней мере одного отрезка цилинд.>ической трубки, который нарукной поверхнос:тью прикреплен к внутренней поверх;,ности корпуса, а мембрана закреплена на торце отрезка трубки.

106&388

Ссставитель В.Бушланов

Редактор С.Патрушева Техред M.Tenep Корректор В.БУтяга

Заказ 1137.8/17 Тираж 4б 8 Подписное

BHHHIlH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r.Óæãoðñä, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к приборостроению и предназначено для измерения давления жидких и газообразных среде

Известны преобразователи давления, содержащие корпус, с закреплен- 5 ной в нем полупроводниковой мембраной с тензорезисторами (1).

Действие известных преобразователей давления основано на преобразовании давления, приложенного к 10 мембране, в изменение сопротивления тензорезисторов.

Недостатком такой конструкции является значительная температурная погрешность вследствие Различия тем- 15 пературных коэффициентов линейного расширения материалов мембраны и корV

rryca.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является пре- 2п образователь давления, B который с целью повышения точности преобразования давления путем уменьшения температурной погрешности, связанной с за-делкой полупроводниковой мембраны в корпус, введен по крайней мере один промежуточный опорный элемент, который закреплен на торце цилиндрического корпуса, и на котором, в свою очередь, герметично закреплена мембрана с тензореэисторами (2).

Недостатком такого преобразователя давления является низкая надежность соединения опорного элемента с торцом трубчатого корпуса.

Целью изобретения является повы- 35 шение надежности преобразователя ,давления.

Поставленная цель достигается тем, что в полупроводниковом преобразователе давления, содержащем цилиндрический трубчатый корпус с закрепленным на нем опорным элементом, выполненным из стекла, на котором закреплена полупроводниковая мембрана с тензорезисторами, опорный элемент выполнен в виде отрезка цилиндрической трубки, который наружной поверхностью прикреплен к внутренней поверхности корпуса, а мембрана закреплена на торце отрезка трубки.

На чертеже изображена предложенная конструкция преобразователя давления с двухтрубчатым опорным .элементом.

Преобразователь давления содержит трубчатый корпус 1, опорный элемент, выполненный из двух отрезков трубок

2 и 3, и кремниевую мембрану 4 с тензорезисторами 5. Трубки 2 и 3 своими наружными поверхностями прикреплены к внутренним поверхностям трубки 3 и корпуса 1,соответственно.

Мембрана 4 по периметру герметично закреплена.на торце трубки 2. Трубки

2 и 3 опорного элемента выполнены из стекла типа Пирекс и из стекла типа С48-1 соответственно. Для уменьшения температурной погрешности подобраны температурные коэффициенты линейного расширения материалов трубок 2 и 3 и корпуса 1.

При подаче измеряемого давления в корпус 1 прербразователя мембрана 4 деформируется, вследствие чего тензорезисторы изменяют свои сопротивления.

Закрепление трубчатого опорного, элемента на внутренней поверхности корпуса обеспечивает повышение надежности их соединения друг с другом.