Вихретоковое устройство для измерения толщины диэлектрического покрытия

 

ВИХРЕТОКОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ на неферромагнитных электропроводящих изделиях, содержащее последовательно соединенные генератор, вихретоковый преобразователь с компви пенсатором, амплитудный детектор и л делитель напряжений, подключенные к выходу генератора и последовательно соединенные фазовращатель и измеритель разности фаз, отличающееся тем, что, с целью повышения точновти измерений, оно снабжено источником постоянного напряжения, подключенньи.1 к нему вычитающим блоком , второй вход которого подключен к выходу измерителя разности фаз, выход - к второму входу делителя напряжения, а также усилителем-ограничителем , включенным между преобразователем и измерителем разности фаз, S который выполнен в виде фа(зочувст (Л вительного детектора. ел СУ 00 о

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

3(50 С 01 В 7 06 описания изоьгятения

К АВТОРСКОМУ С8ИДЕТЕЛЬСТВУ %

О °

° Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3422809/25-28 (22) 13.04.82 (46) 07.01.84. Бюл.9 1 (72) Е.Г. Беликов и A. П. Тычинин (71) Московский ордена Ленина и ордена Октябрьской Революции энергетический институт (53) 620.179.142 ° 5.6(088.8) (56) 1. Приборы для нераэрушающего контроля материалов и изделий. Справочник. Под ред.В.В. Клюева. М., "Машиностроение", 1976, с. 126-128.

2. Авторское свидетельство СССР

М 828062, кл. G 01,,N 27/90, 1980, (54)(57) ВИХРЕТОКОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ

ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО

ПОКРЫТИЯ на нефврромагнитных электрорроводящих изделиях, содержащее пос„. SU„„1065680 А ледовательно соединенные генератор, вихретоковый преобразователь с ком -.и пенсатором, амплитудный детектор и Л делитель напряжений, подключенные к выходу генератора и последовательно соединенные фаэовращатель и измеритель разности фаэ, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точноати измерений, оно снабжено источником постоянного напряжения, подключенным к нему вычитающим блоком, второй вход которого подключен к выходу измерителя разности фаз, выход — к второму входу делителя напряжения, а также усилителем-ограничителем включенным между преобразоI

O вателем и измерителем разности фаз, который выполнен в виде фаэочувствительного детектора.

1065680

ВНИИПИ Заказ 11028/41 Тираж 593 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области нераэрушающего контроля неферромагнит" ных иэделий и может быть исгользовано в> народном хозяйстве для измерения толщины диэлектрических покрытий или расстояния до электропроводящих 5 иэделий.

Известно вихретоконое устройство, содержащее последовательно соединенные генератор, вихретоковый преобразователь,; -.илитель, амплитудный детектор и индикатор (1).

Однако данное устройстно не может быть использовано для измерения зазора при изменениях удельной электрической проводимости иэделия в иироких пределах, например от 0,02МСм/и до 62 МСм/м беэ существенного усложнения реализации устройства или снижения точности измерения.

Наиболее близким к изобретению является вихретоковое устройство для измерения толщины диэлектрического покрытия на неферромагнитных электропроводящих изделиях,.содержащее пос ледовательно соединенные генератор, вихретоковый преобразователь с компенсатором, амплитудный детектор и делитель напряжений, подключенные к выходу генератора и последовательно соединенные фаэовращатель, измеритель разности фаэ, а также запоминающий блок Е23.

Однако реализация известного устройства затрудняется сложностью изготовления и наладки измерителя разности фаз и запоминающего блока, а, 35 следовательно, приводит к снижению точности измерений.

Целью изобретения является повышение точности измерений.

Указанная цель достигается тем, что вихретоковое устройство для измерения толщины диэлектрического покрытия на неферромагнитных электропроводящих изделиях, содержащее последовательно соединенные генератор, вихретоковый преобразователь с компенсатором, амплитудный детектор и делитель напряжений, подключенные к выходу генератора и последовательно соединенные фазовращатель и измеритель разности фаз, снабжено источни. ком постоянного напряжения, подклю чейным к нему вычитающим блоком, второй вход которого подключен к выходу измерителя разности фаэ, а выход - к второму входу делителя Hàïðà 55 жений, а также усилителем-ограничителем, включенным между преобразователем и измерителем разности фаз, который выпалнен в виде фазочунстнительного детектора. 60

На чертеже показана структурная схема вихретокового устройства для измерения толщины диэлектрического покрытия.

Устройство согержит последовательно соединенные генератор 1, нихретоковый преобразователь 2 с компенсатором (не показан), амплитудный детектор 3 и делитель 4 напря>кений, Устройство содержит также фаэовращатель 5, усилитель-ограничитель б, измеритель разности фаэ, выполненный н виде фазочугствительного детекто" ра 7, и нычитающий блок 8.

Выход делителя 4 напряжений является выходом устройства.

Устройство работает следующим образом.

Генератор 1 питает синусоидальным током вихретоковый преобразователь 2 с, компенсатором, выходной сигнал которого поступает одновременно на вход делителя 4 напряжений че реэ амплитудный детектор 3 и на вход фазочунстнительного детектора 7 через усилитель-ограничитель б. На второй вход фазочувствительного детектора 7 сигнал поступает с выхода генератора 1 через фазонращатель 5.

Фаза выходного сигнала вихретоконого преобразователя фазонращателем 5 устанавливается равной фазе тока возбуждения преобразователя 2. При этом на ныходе фазочунстнительного детектора 7 действует сигнал Ч соэ ч>, величина которого не зависит от амплитуды Ч и пропорциональна фазе выходного сигнала преобразователя 2, Сигнал, равный разности постоянного напряжения, поступающего с источника постоянного напряжения, и выходного напряжения,>соя P фаэочунстнительного детектора 7, с выхода нычитающего по блока 8 подается на второй вход дели теля 4 напряжений. На выходе делителя 4 напряжений выделяется сигнал

Vj(1- соэ () Ч, величина которого однозначно связана с расстоянием до изделия и практически не зависит от изменений удельной электрической проводимости иэделия н широких пределах.

Таким образом, благодаря тому, что устройство снабжено источником постоянного напряжения, нычитающим блоком, делителем напряжений, фазочунствительным детектором и усилителем-ограничителем оно позволяет существенно расширить диапазон отстройки от влияния удельной электрической проводимости изделия и повысить точность измерений.

Вихретоковое устройство для измерения толщины диэлектрического покрытия Вихретоковое устройство для измерения толщины диэлектрического покрытия 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх