Чувствительный элемент тензодатчика
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ТЕНЮДАТЧИКА, В1топненнь1й в виде паралпелепвпеда из полупроводникового материала монокристаллической структуры , отличающий с. я тем, что ,с целью псюьоиения чувствительности, полупроводниковый материал зостоит из твердого раствора х Р соотно;шеннн компоненгов 0,1 Х 0,45 с концентрацией носителей тока где X - относительное содержание базовой компоненты.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1015244
p g С 01 8 7/16
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
= --.Г-..
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Ю.
Сл
Ю
4ь Вь (21) 3224938/25-28 (22) 02.10.80 (46) 30.04.83.Бкл. М 16 (72) П.М.Старик, З.В.Панкевич, Д.М.Заячук и В.И.Гарасим (71) Черновицкий ордена Трудового
Красного Знамени государственный университет (53) 53 1.781.2(088,8) (56) 1. Эрлер В. и др. Электрические измерении неелектрических вепечин полупроводниковыми тензометрами. М., Мир", 1974, с. 91.
2. Авторское свидетельство СССР
l4 549053, кл. 6 01 В 7/18, 1971 (прототип) . (54) (57) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ
ТЕНЗОДАТЧИКА, ветполненный в виде параллелепипеда из полупроводникового материала монокристышической структуры, о т л и ч а ю щ и и с. и тем, что,с цепью повышении чувствительности, полупроводниковый материал «состонт из ЕЪ твердого.растворагЪЗ-Х5п Тй при соотноХ .шеиии компонентов 0,1 < X < 0,45 с концентрацией носителей тока 10 .-10 см,, где Х вЂ” относительное содержание базовой компоненты.
1015244
Составитель Н. Ужов
Техред Ж.Кастелевич Корректор А дзятко
Редактор А.Фролова
Заказ 3195/39 Тираж 602 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4i5
Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,4
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к тензометрии, и может быть использовано для измерения . деформаций и механических напряжений деталей и конструкций.
Известен чувствительный элемент тензодатчика, выполненный в юде пластины полупроводникового материала, напрймер германия fl,).
Основным недостатком такого элемента является малая точность измерений при повышенных температурах- вследствие существенного изменения удельного сопротивления материала при изменениях темн ературы.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является чувствительный элемент тензодатчика, выполненный в виде параллелепипеда из полупроводникового материала монокристаллической структуры, изготовленный на основе баЯ5„ХРх, где X - относительное содержание базовой компоненты, при соотношении компонентов 0,2 «< X< 0,4 с концентрацией носителей 2.10 "® — 7.10 8 см З(2Д.
Недостатком известного тензочувстиительного элемента является вязкая чувствительность и термостабильность.
Цель изобретения — повышение чувствительности.
Поставленная цель достигается тем, что чувствитепьный элемент тензодатчика выполнен в виде параллелепипеда из полупроводникового материала монокристаллической структуры, а полупроводниковый материап состоит из твердого раствора
РЬ1 х5п,Те при соотношении компонентов
0,1 < х <0,45 с концентрацией носителей тока 10" - 10" см„З, где Х вЂ” относительное содержание базовой компоненты.
Чувствительный элемент тензодатчика может быть изготовлен из известных способов, в виде параллелепипеда из попупроводникового материала монокристаллической структуры с выводами в виде медных проводников, при этом монокристалл попупроводника состоит из твердого раствораРЪ+„Эп,Тепри соотношении компонентов 0,1 Х«< 0 4-5 с концентрацией носителей тока 10 - 10 см З, 20 где Х - относительное содержание базовой компоненты.
Применение предлагаемого тензочувствительного элемента из данного материала позволяет существенно повысить чувствительность тензодатчиков, так как удельная тензочувствительность у попупроводника выше, чем у известных материалов кроме того, увеличивается тер30 мостабильность тензочувствительного ýëåмента. При изготовлении такого тензочувствитедьного элемента не используются драгоценные материалы.
