Устройство финишной сборки электронно-оптических преобразователей

Полезная модель относится к высоковакуумному оборудованию, к технологическим средствам производства и сборки электронно-оптических преобразователей, в том числе, преобразователей на основе пироэлектрика. Техническим результатом является повышение технологичности и точности сборки. А также возможность сборки электронно-оптических преобразователей небольших размеров. Для достижения этого технического результата введены катодные оправки с германиевым катодными окнами, стеклянный или кварцевый стакан, блок прогрева, а манипулятор выполнен магнитным.

Полезная модель относится к высоковакуумному оборудованию, к технологическим средствам производства и сборки электронно-оптических преобразователей, в том числе, преобразователей на основе пироэлектрика.

Ближайшим аналогом заявленного устройства является техническое решение по патенту 2345439, Н01J 31/50, приоритет 17.03.2005 г, «Способ изготовления пироэлектрического электронно-оптического преобразователя изображения и высоковакуумная установка, реализующая этот способ». Указанная установка содержит высоковакуумную двухуровневую систему откачки, герметично соединенную с помощью разветвителя с одной из сторон пироэлектрического электронно-оптического преобразователя при помощи плоского медного штенгеля, который откусывают прессножницами при герметизации. А с другой стороны соединен с вакуумной камерой с манипулятором, обеспечивающим перемещение заранее подготовленной тонкопленочной мишени в корпус пироэлектрического электронно-оптического преобразователя изображения и закрепление ее с помощью защелок. Содержит также систему формирования фотокатода в условиях высокого вакуума. При этом вакуумная камера с манипулятором снабжена загрузочной камерой. Содержащую также кассету с загрузочными местами для тонкопленочных мишеней, систему перемещения кассеты и дополнительный фланец для подсоединения к высоковакуумной системе откачки.

Недостатком указанной высоковакуумной установки является низкая производительность и большие размеры электронно-оптических преобразователей. которые могут собираться в этой установке.

Задачей полезной модели является устранение этих недостатков и создание универсальной установки для сборки электронно-оптических преобразователей меньшего размера, повышение технологичности процесса.

Для реализации поставленной задачи и усовершенствования установки введены катодные оправки с германиевым катодными окнами, стеклянный или кварцевый стакан, печь прогрева модулей, а манипулятор выполнен магнитным.

На фиг.1 изображена функциональная схема заявленного устройства, которая содержит: кассету 1, оправки с пиропленками 2, механизм перемещения кассеты 3, корпус загрузочной камеры 4, камеру активировки 5, карусель камеры активировки 6, катодные оправки с германиевыми катодными окнами 7, стеклянный или кварцевый стакан 8, камеру герметизации 9, карусель камеры герметизации 10, пост предварительной откачки 11, блок внешнего прогрева 12, корпуса пироэопов 13, магнитный манипулятор 14, механизм перехвата пиропленок 15, механизм перехвата фотокатодов 16, механизм герметизации 17, фланцы с токовводами с источниками цезия и сурьмы 18, блок откачки 19, первый и второй угловые краны 20, 21 и прямоходный вентиль 22..

Устройство финишной сборки работает следующим образом.

В кассету 1 устанавливают N оправок с пиропленками 2,

Указанную кассету устанавливают на механизм перемещения 3 в в корпус загрузочной камеры 4,

На карусель камеры активировки 5, находящуюся над стеклянным или кварцевым стаканом 8, устанавливают N оправок с германиевыми окнами 7, на фланцы с токовводами, находящимися внутри стеклянного или кварцевого стакана, устанавливают источники цезия и сурьмы,

Одновременно на карусель камеры герметизации 10 устанавливают N оправок с корпусами пироэопов 13.

Производят откачивание на форвакуум камер загрузки, активировки и герметизации,

Затем камеры загрузки и активировки через угловые краны, а камера герметизации через прямоходный вентиль откачивают на высокий вакуум

Проводят суточный прогрев установки с помощью печей прогрева 12 для получения сверх-высокого вакуума,

В камере активировки проводят групповую обработку фотокатодов на германиевых окнах,

Через прямоходный вентиль с помощью магнитного манипулятора 14 пиропленки передают в камеру герметизации на механизм перехвата пиропленок 15 и устанавливают в корпуса пироэопов

Через прямоходный вентиль с помощью магнитного манипулятора 14 фотокатоды на германиевых окнах передают в камеру герметизации на механизм перехвата фотокатодов 16 и устанавливают на корпуса пироэопов,

С помощью механизма герметизации 17 производят поочередную индиевую запрессовку полученных пироэпов,

Камеру герметизации вскрывают на атмосферу и вынимают готовые пироэопы.

Промышленная применимость.

Устройство финишной сборки электронно-оптических преобразователей промышленно применимо и может быть изготовлено с использованием известных технологий и материалов.

Устройство финишной сборки электронно-оптических преобразователей, содержащее загрузочную камеру, камеру активировки, камеру герметизации, отличающееся тем, что камера активировки содержит карусель с N оправками с германиевыми окнами, находящимися над стеклянным или кварцевым стаканом с фланцами с источниками цезия или сурьмы для групповой обработки фотокатодов на германиевых окнах, загрузочная камера содержит кассету с N оправками с пиропленками и механизм перемещения, камера герметизации содержит механизм перехвата фотокатодов и N оправок с корпусами фотокатодов, причем загрузочная камера, камера активировки и камера герметизации соединены с постом предварительной откачки, загрузочная камера через первый угловой кран, камера активировки через второй угловой кран, а камера герметизации через первый прямоходный вентиль соединены с блоком откачки для откачки на высокий вакуум, камера герметизации соединена с загрузочной камерой через второй прямоходный вентиль и магнитный манипулятор для подачи пиропленок в камеру герметизации на механизм перехвата фотокатодов и установки в корпус электронно-оптического преобразователя, введен также внешний блок прогрева.