Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Полезная модель решает задачу нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения защитных, упрочняющих и декоративных покрытий на поверхность изделий.
Техническим результатом является повышение качества напыления, за счет постоянного контроля за давлением рабочего газа.
Устройство работает следующим образом: после установки обрабатваемого изделия в подложкодержатель (2) для нанесения защитных, упрочняющих или декоративных покрытий, вакуумная камера (1) герметизируется и включается узел откачки (5). При достижении давления в камере 10-7 Па в камеру через газовую систему (4) напускается рабочий газ, необходимый для испарения материала магнетроном (3), при этом вакуумный затвор (6) закрывается. При давлении рабочего газа (5-10)×10-2 Па включается магнетрон (3), при этом блок управления (8) начинает непрерывно отслеживать сигнал с вакуумметра (9) и при увеличении давления рабочего газа дает сигнал исполнительному механизму (7) на приоткрытое вакуумного затвора (6), а при уменьшении, соответственно, на призакрытие. После напыления необходимого количества материала, магнетрон (3) выключается, газовая система (4) перекрывается, камера (1) разгерметизируется, и обрабатанное изделие извлекается. 1. п.п. ф-лы, 1 илл.
Полезная модель решает задачу нанесения покрытий в вакууме и может быть использована для нанесения защитных, упрочняющих и декоративных покрытий на поверхность изделий.
Наиболее близким к заявленному, является установка для нанесения покрытий в вакууме (Российский патент на полезную модель №2280709 МПК 8 С 23 С 14/35). Устройство представляет собой вакуумную камеру, к которой подключена газовая система, внутри камеры расположены вращающийся подложкодержатель для установки обрабатываемого изделия, испаритель материалов и узел откачки. Недостатком такого устройства является нестабильность скорости напыления.
Техническим результатом является устранение указанного недостатка, а именно повышение качества напыления, за счет постоянного контроля за давлением рабочего газа.
Технический результат достигается тем, что в устройстве, состоящем из вакуумной камеры, к которой подключена газовая система, в которой расположен подложкодержатель для установки обрабатываемых изделий, испаритель материалов, узел откачки, дополнительно, между узлом откачки и вакуумной камерой расположен вакуумный затвор, положением которого управляет исполнительный механизм, связанный через блок управления с вакууметром, жестко закрепленным в вакуумной камере, а в качестве испарителя материалов используют магнетрон.
Для поддержания непрерывного разряда рабочего газа, необходимого для напыления материалов методом магнетронного испарения, в вакуумной камере создается и поддерживается постоянным давление рабочего газа в диапазоне (5-10)×10-2 Па. Для подачи рабочего газа в камеру используется газовая система, а для поддержания давления постоянным, используется узел управления скоростью откачки представляющий собой вакуумный затвор, положением которого управляет исполнительный механизм связанный через блок управления с вакуумметром, жестко закрепленным в вакуумной камере и измеряющим давление рабочего газа, поступающего через газовую систему.
На фиг.1 представлена схема устройства, представляющее собой вакуумную камеру (1), расположенные в ней вращающейся подложкодержатель для установки обрабатываемого изделия (2), испаритель материалов (3), подключенные к вакуумной камере газовая система (4) и узел откачки (5), расположенный между вакуумной камерой и узлом откачки вакуумный затвор (6), положением которого управляет исполнительный
механизм (7), связанный через блок управления (8), с жестко закрепленным в вакуумной камере вакуумметром (9).
Устройство работает следующим образом: после установки обрабатваемого изделия в подложкодержатель (2) для нанесения защитных, упрочняющих или декоративных покрытий, вакуумная камера (1) герметизируется и включается узел откачки (5). При достижении давления в камере 10-7 Па в камеру через газовую систему (4) напускается рабочий газ, необходимый для испарения материала магнетроном (3), при этом вакуумный затвор (6) закрывается. При давлении рабочего газа (5-10)×10-2 Па включается магнетрон (3), при этом блок управления (8) начинает непрерывно отслеживать сигнал с вакуумметра (9) и при увеличении давления рабочего газа дает сигнал исполнительному механизму (7) на приоткрытие вакуумного затвора (6), а при уменьшении, соответственно, на призакрытие. После напыления необходимого количества материала, магнетрон (3) выключается, газовая система (4) перекрывается, камера (1) разгерметизируется, и обрабатанное изделие извлекается.
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, состоящее из вакуумной камеры, к которой подключена газовая система, в которой расположен подложкодержатель для установки обрабатываемых изделий, испаритель материалов, узел откачки, отличающееся тем, что между узлом откачки и вакуумной камерой расположен вакуумный затвор, положением которого управляет исполнительный механизм, связанный через блок управления с вакуумметром, жестко закрепленным в вакуумной камере, а в качестве испарителя материалов используют магнетрон.
