Устройство для выполнения технологических операций
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения нанотехнологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить более высокую точность нанотехнологической операции из-за дрейфовых явлений в области проведения процессов.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для выполнения нанотехнологических операций, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой электрически связанной с зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено устройством подачи жидкого азота, зонд в предложенном устройстве выполнен в виде тепловой трубки, герметично установленной в соединительном элементе таким образом, что ее тупой торец связан с устройством подачи жидкого азота, а соединительный элемент, герметично и жестко связан с пьезоприводом.
Применение предлагаемого технического решения устройства для выполнения нанотехнологических операций позволяет повысить точность проведения нанотехнологических операций за счет снижения дрейфовых явлений в области проведения процессов.
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения нанотехнологических операций.
Известно устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой электрически связанной с зондом [Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, вып.2.-М.; Наука, 1988 - с.261-278 (аналог)].
Недостатком аналога является обеспечение не достаточно высокой точности нанотехнологической операции из-за дрейфовых явлений в области проведения процессов.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для выполнения нанотехнологических операции, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой электрически связанной с зондом [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие/ М.: МИЭТ 2000 - с.69 (прототип)].
Недостатком прототипа также является обеспечение не достаточно высокой точности нанотехнологической операции из-за дрейфовых явлений в области проведения процессов.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить более высокую точность нанотехнологической операции из-за дрейфовых явлений в области проведения процессов.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для выполнения нанотехнологических операций, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой электрически связанной с зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено устройством подачи жидкого азота, зонд в предложенном устройстве выполнен в виде тепловой трубки, герметично установленной в соединительном элементе таким образом, что ее тупой торец связан с устройством подачи жидкого азота, а соединительный элемент, герметично и жестко связан с пьезоприводом.
Выполнение зонда в виде тепловой трубки, герметично установленной в соединительном элементе таким образом, что ее тупой конец связан с устройством подачи жидкого азота, а соединительный элемент, герметично и жестко связан с пьезоприводом, обеспечивает более высокую точность нанотехнологической операции за счет снижения дрейфовых явлений в области проведения процессов.
Тепловая трубка - это замкнутое испарительно-конденсационное устройство, предназначенное для охлаждения, нагрева или терморегулирования других устройств или объектов. Фактически это система, в которой происходит направленный перенос тепловой энергии. Тепловые трубки не потребляют электроэнергию и не шумят. Тепловая трубка начинает работать при малейшем перепаде температур на ее концах.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для выполнения нанотехнологических операций.
Устройство для выполнения нанотехнологических операций содержит пьезопривод 1, установленный на неподвижном основании 2, зонд 3, выполненный в виде тепловой трубки 4, герметично установленной в соединительном элементе 5, таким образом, что ее тупой торец 6 связан с устройством подачи жидкого азота 7, а соединительный элемент 5,
герметично и жестко связан с пьезоприводом 1, подложкодержатель 8 с подложкой 9 электрически связан зондом 3.
Устройство для выполнения нанотехнологичских операций работает следующим образом.
При проведении нанотехнологической операции за счет подачи жидкого азота из устройства подачи жидкого азота 7 (УПЖА) в полость соединительного элемента 5 происходит охлаждение тупого торца 6 тепловой трубки 4 зонда 3, что обеспечивает снижение температуры и дрейфовых явлений в области проведения процессов.
Применение предлагаемого технического решения устройства для выполнения нанотехнологических операций позволяет повысить точность проведения нанотехнологических операций.
Устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой, электрически связанной с зондом, отличающееся тем, что устройство снабжено устройством подачи жидкого азота, зонд выполнен в виде тепловой трубки, герметично установленной в соединительном элементе таким образом, что ее тупой торец связан с устройством подачи жидкого азота, а соединительный элемент герметично и жестко связан с пьезоприводом.
