Устройство для нанесения покрытий в вакууме методом химического осаждения
Предлагаемая полезная модель относится к области химической технологии получения покрытий методом химического осаждения из газовой фазы, а именно к устройствам для нанесения равномерного покрытия из неорганического материала на движущуюся металлическую ленту большой длины (100 м и больше). Устройство содержит корпус реактора, в котором с возможность перемещения установлена лента, с одной стороны которой установлено средство нагрева в виде лампы, например, галогеновой, обеспечивающей бесконтактный нагрев ленты, а с другой стороны ленты-средство для подачи паров, выполненное с возможностью подачи потока паров компонентов наносимого материала перпендикулярно поверхности ленты. Повышается равномерность покрытия при упрощении конструкции устройства. 1 ил.
Предлагаемая полезная модель относится к области химической технологии получения покрытий методом химического осаждения из газовой фазы, а именно к устройствам для нанесения равномерного покрытия из неорганического материала на движущуюся металлическую ленту большой длины (100 м и больше).
Наиболее близким аналогом предлагаемого технического решения является устройство для нанесения на движущуюся ленту неорганических покрытий в вакууме методом химического осаждения, содержащее корпус реактора, в котором с возможность перемещения установлена лента, средство нагрева ленты в виде индуктора и средство для подачи паров наносимого материала в виде двустороннего зонта (см. US 6743531, опубл. 2004 г.).
Недостатком известного устройства является сложность его конструкции и неравномерность покрытия.
Технической задачей предлагаемой полезной модели является повышение равномерности покрытия при упрощении конструкции устройства.
Поставленная задача решается тем, что устройство для нанесения на движущуюся ленту неорганических покрытий в вакууме методом химического осаждения содержит корпус реактора, в котором с возможность перемещения установлена лента, с одной стороны которой установлено средство нагрева в виде лампы, например, галогеновой, обеспечивающей бесконтактный нагрев ленты, а с другой стороны ленты-средство для подачи паров, выполненное с возможностью подачи потока паров компонентов наносимого материала перпендикулярно поверхности ленты.
Выполнение средства нагрева бесконтактным - в виде лампы и обеспечение направление потока паров перпендикулярно поверхности ленты позволило повысить равномерность покрытия ленты при не сложной конструкции устройства.
Сущность предлагаемой полезной модели поясняется с помощью рисунка, на котором показана схема предлагаемого устройства.
Устройство содержит корпус 1 реактора с патрубком 2 для откачки газа. В корпусе установлена металлическая лента 3, перемещающаяся с помощью катушек 4, 5. С одной стороны ленты установлена галогеновая лампа 6, а с другой стороны ленты-средство 7 для подачи паров, выполненное с возможностью подачи потока паров наносимого материала перпендикулярно поверхности ленты.
Пример реализации устройства.
Процесс нанесения покрытия осуществляется в низком вакууме (0,1-100 мбар), создаваемым посредством откачки через патрубок 2. Металлическая лента перематывается с постоянной линейной скоростью на катушку 4 с катушки 5, в направлении указанным стрелкой. Нагрев ленты осуществляют галогеновой лампой, подача паров соединений элементов-компонентов материала покрытия осуществляется перпендикулярно поверхности ленты посредством средства 7, выполненного в виде патрубка.
Разработанное устройство позволяет получать равномерные неорганические покрытия на длинных металлических лентах в одну стадию. Многократность применения устройства позволяет получать покрытия, состоящие из нескольких слоев.
1. Устройство для нанесения на движущуюся ленту неорганических покрытий в вакууме методом химического осаждения, содержащее корпус реактора, в котором с возможностью перемещения установлена лента, средство нагрева ленты и средство для подачи паров наносимого материала, отличающееся тем, что средство нагрева установлено с одной стороны ленты и выполнено в виде лампы, обеспечивающей бесконтактный нагрев ленты, а средство для подачи паров установлено с противоположной стороны ленты и выполнено с возможностью подачи потока паров компонентов наносимого материала перпендикулярно поверхности ленты.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что лампа выполнена галогеновой.
