Линейный манипулятор держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии

Полезная модель относится к области изготовления полупроводниковых приборов и может быть использована для перемещения держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии из одной вакуумной камеры в другую.

Линейный манипулятор держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии, включающий размещенный в корпусе ползун, снабженный приводом, ползун выполнен в виде размещенных одна в другой труб квадратного сечения - внешней трубы и внутренней трубы, сопряженных между собой посредством подшипников, на конце внешней трубы укреплен цанговый зажим для фиксации держателя подложки, внутренняя труба снабжена разжимным эксцентриком, размещенным на ее конце внутри цангового зажима, при этом внутренняя труба снабжена приводом ее вращения, а наружная труба снабжена приводом ее возвратно-поступательного перемещения.

В результате обеспечивается определенность положения держателя подложки относительно места ее установки в ростовой камере путем предотвращения поворота держателя подложки относительно корпуса манипулятора, что обеспечит установку подложки в ростовой камере строго в заданное положение.

Полезная модель относится к области изготовления полупроводниковых приборов и может быть использована для перемещения держателя для молекулярно-пучковой эпитаксии подложки из одной вакуумной камеры в другую.

Известен линейный манипулятор держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии, который включает размещенный в корпусе ползун круглого сечения, снабженный приводом, см. каталог «Nor Cal Products», США 2004, раздел 8.6, стр.178 «Sample Transfer&Manipulaton», Magnetic Linear/Rotary Feedthrough (копия ссылки прилагается).

Недостатком данного устройства, принятого за прототип настоящей полезной модели, является то обстоятельство, что оно не обеспечивает определенности положения держателя подложки относительно места последующей установки подложки в ростовой камере для молекулярно-пучковой эпитаксии. Свойственная прототипу неопределенность положения держателя обусловлена возможностью поворота держателя круглого сечения относительно центральной оси корпуса манипулятора. В

результате подложка не будет установлена в ростовой камере в заданное положение.

Задачей настоящей полезной модели является обеспечение определенности положения держателя подложки относительно места ее установки в ростовой камере путем предотвращения поворота держателя подложки относительно корпуса манипулятора, что обеспечит установку подложки в ростовой камере строго в заданное положение.

Согласно полезной модели эта цель достигается за счет того, что в линейном манипуляторе держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии, включающем размещенный в корпусе ползун, снабженный приводом, ползун выполнен в виде размещенных одна в другой труб квадратного сечения - внешней трубы и внутренней трубы, сопряженных между собой посредством подшипников, на конце внешней трубы укреплен цанговый зажим для фиксации держателя подложки, внутренняя труба снабжена разжимным эксцентриком, размещенным на ее конце внутри цангового зажима, при этом внутренняя труба снабжена приводом ее вращения, а наружная труба снабжена приводом ее возвратно-поступательного перемещения.

Заявителем не выявлены технические решения, тождественные заявленной полезной модели, что позволяет сделать вывод о ее соответствии критерию «новизна».

Сущность полезной модели поясняется чертежами, где изображено:

на фиг.1 - вид сверху;

на фиг.2 - разрез по А-А на фиг.1;

на фиг.3 - разрез по В-В на фиг.1.

Линейный манипулятор держателя 1 подложки 2 для молекулярно-пучковой эпитаксии включает размещенный в корпусе 3 ползун; ползун выполнен в виде двух размещенных одна в другой труб квадратного сечения - внешней трубы 4 и внутренней трубы 5. Трубы 4 и 5 сопряжены между собой посредством подшипников 6. На конце внешней трубы 4 укреплен цанговый зажим 7 для фиксации держателя 1 подложки 2. Внутренняя труба 5 снабжена разжимным эксцентриком 8, размещенным на ее конце внутри цангового зажима 7. Внутренняя труба 5 ползуна снабжена приводом 9, обеспечивающим ее вращение относительно трубы 4. Внутренняя труба 4 снабжена приводом 10 для ее возвратно-поступательного перемещения.

Устройство работает следующим образом.

Держатель 2 подложки 1, находящийся в вакуумной камере, закрепляют в цанговом зажиме 7. Для этого открывают цанговый зажим 7 поворотом по часовой стрелке разжимного эксцентрика 8 с помощью привода 9. Затем закрывают цанговый зажим 7 поворотом против часовой стрелки эксцентрика 8 с помощью привода 9. Далее осуществляют

линейное перемещение держателя 2; для этого вращают привод 10 по или против часовой стрелки в зависимости от того, в какую сторону должен перемещаться держатель. После достижения необходимого положения держателя в другой вакуумной камере открывают цанговый зажим 7 и устанавливают держатель 2 на заданное место в этой камере.

Выполнение труб 4 и 5 с квадратным сечением обеспечивает предотвращение поворота держателя 2 подложки 1 относительно корпуса 3 манипулятора. Это обеспечивает установку держателя после его перемещения из одной камеры в другую строго в заданное положение.

Линейный манипулятор держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии изготавливается в заводских условиях с применением обычного оборудования и известных материалов, что обусловливает, по мнению заявителя, его соответствие критерию «промышленная применимость».

Линейный манипулятор держателя подложки для молекулярно-пучковой эпитаксии, включающий размещенный в корпусе ползун, снабженный приводом, отличающийся тем, что ползун выполнен в виде размещенных одна в другой труб квадратного сечения - внешней трубы и внутренней трубы, сопряженных между собой посредством подшипников, на конце внешней трубы укреплен цанговый зажим для фиксации держателя подложки, внутренняя труба снабжена разжимным эксцентриком, размещенным на ее конце внутри цангового зажима, при этом внутренняя труба снабжена приводом ее вращения, а наружная труба снабжена приводом ее возвратно-поступательного перемещения.