Затравкодержатель

Предлагаемая полезная модель относится к области выращивания монокристаллов методом Чохральского и Степанова, а именно к затравкодержателям установок для выращивания монокристаллов. Затравкодержатель содержит цилиндрический корпус с полками, на которых свободно размещен затравочный кристалл. Затравочный кристалл выполнен в виде пластины с выступом по центру последней, проходящим между полками корпуса за его пределы. Выполнение корпуса с полками, на которых свободно размещен затравочный кристалл, позволяет избежать возникновение в последнем напряжений и, соответственно, избежать его растрескивание. Частичное размещение выступа затравочного кристалла между полками корпуса позволяет сохранить постоянной ориентацию затравочного кристалла в процессе роста монокристалла, это положительно скажется на его качестве - уменьшится количество дефектов и повысится его оптическая однородность.

Предлагаемая полезная модель относится к области выращивания монокристаллов, премущественно методом Чохральского, а именно к затравкодержателям установок для выращивания монокристаллов.

Как правило, затравочные кристаллы жестко фиксируются на держателе либо при помощи проволоки, либо штифта, изготовленных из иридия или платины.

Так известны затравкодержатели, выполненные в виде траверсы с двумя платами, на которых размещены зажимные винты, при этом между платами и затравочным кристаллом установлены гофрированные прокладки, впадины которых расположены против зажимных винтов, а выступы помещены в бороздки затравочного кристалла (см. авторское свидетельство СССР №159795, МПК С 30 В 15/32, 1962).

Однако в известном затравкодержателе из-за жесткого крепления затравочного кристалла может возникнуть его растрескивание вследствие возникающих в нем напряжений, что может привести к падению растущего кристалла в расплав.

Известны также затравкодержатели, содержащие корпус в виде керамического штока и штифт, расположенный в соосных поперечных отверстиях штока и затравочного кристалла, при этом затравочный кристалл частично размещен внутри корпуса, а частично снаружи (см. авторское свидетельство СССР №1604868, МПК С 30 В 15/32,1988).

Данный известный затравкодержатель является наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату.

Однако использование в этом затравкодержателе штифта для крепления затравочного кристалла приводит к необходимости увеличения поперечного сечения затравочного кристалла. К тому же платина, из

которой выполнен штифт, при высоких температурах становится пластичной, что при большом весе выращиваемого кристалла может привести к его провисанию и искривлению и, следовательно, к снижению качества выращиваемого кристалла.

Задача, поставленная при создании полезной модели, состояла в том, чтобы при его использовании повысить качество выращиваемых кристаллов и выход годных кристаллов.

Поставленная задача решается тем, что в затравкодержателе, содержащем цилиндрический корпус, в котором частично размещен затравочный кристалл, на торце корпуса со стороны затравочного кристалла выполнены полки для свободного размещения на них затравочного кристалла, при этом последний выполнен в виде пластины с выступом по центру, проходящим между полками корпуса за пределы последнего.

Далее полезная модель поясняется чертежом, на котором схематично изображен затравкодержатель в продольном разрезе.

Затравкодержатель содержит цилиндрический корпус 1 с полками 2, на которых свободно размещен затравочный кристалл 3. Затравочный кристалл 3 выполнен в виде пластины с выступом 4, проходящим между полками 2 наружу корпуса.

Затравкодержатель работает следующим образом.

Изготавливают затравочный кристалл 3 в виде пластины с выступом 4. Затравочный кристалл свободно помещают на полки 2 корпуса 1, при этом выступ 4 затравочного кристалла 3 проходит между полками 2 за пределы корпуса 1. Затем затравкодержатель помещают в ростовую печь и осуществляют выращивание кристалла методом Чохральского. Предлагаемый затравкодержатель может быть использован и при выращивании кристалла методом Степанова.

Выполнение корпуса с полками, на которых свободно размещен затравочный кристалл, позволяет избежать возникновение в последнем напряжений и, соответственно, избежать его растрескивание и увеличить выход годных кристаллов. Частичное размещение выступа затравочного кристалла между полками корпуса позволяет сохранить постоянной ориентацию затравочного кристалла в

процессе роста монокристалла, что положительно сказывается на качестве последнего - уменьшается количество дефектов и повышается его оптическая однородность.

Затравкодержатель, содержащий цилиндрический корпус, в котором частично размещен затравочный кристалл, отличающийся тем, что корпус на торце со стороны затравочного кристалла имеет полки для свободного размещения на них затравочного кристалла, при этом последний выполнен в виде пластины с выступом по центру, расположенным между полками корпуса и частично снаружи последнего.