Устройство для двухсторонней очистки полупроводниковых пластин с помощью мегазвука

 

Устройство для двухсторонней очистки полупроводниковых пластин с помощью мегазвука, содержащее ванну для очистки пластин моющим раствором, мегазвуковой излучатель, механизм вращения пластин, взаимодействующий с приводом, отличающееся тем, что механизм вращения пластин выполнен в виде двух валов, каждый из которых снабжен роликом с клиновидным пазом и установлен в опорах корпуса и фланца, закрепленных на боковой стенке ванны, при этом каждый вал снабжен внутренним кольцевым магнитом, взаимодействующим с наружным магнитом, закрепленным на подвижном корпусе, установленном в подшипниках внешнего корпуса, который с помощью упомянутого фланца также закреплен на боковой стенке ванны, при этом на внешнем корпусе одного из валов выполнен кронштейн, на котором установлен привод вращения, взаимодействующий с подвижным корпусом, а фланец и корпус для установки вала содержат средства для подачи моющего раствора, кроме того, каждый вал с роликом, фланец и корпус вала выполнены из стойкого к моющему раствору материала, например фторопласта, а мегазвуковой излучатель закреплен на задней стенке ванны.



 

Наверх