Устройство для контроля окончания процесса сухого травления структурообразующего слоя микросхемы в вакуумной камере, содержащее источник светового излучения, систему формирования светового луча и системы приема и регистрации информативного сигнала, отличающееся тем, что источник светового излучения, система формирования светового луча и система приема информативного сигнала выполнены совместно на базе оптического микроскопа с осветителем видимой части спектра, используемым в качестве источника светового излучения, и цветной видеокамерой, используемой в качестве системы приема оптического сигнала, при этом в качестве системы формирования светового луча использована схема падающего через объектив микроскопа света, а в качестве системы регистрации информативного сигнала использован компьютер, информационный вход которого подключен к выходу цветной видеокамеры, причем оптический микроскоп установлен снаружи вакуумной камеры с возможностью нормального освещения участка поверхности вытравливаемого слоя и приема лучей отраженного света объективом микроскопа через оптическое окно, встроенное в вакуумную камеру.
