Микромеханический акселерометр

 

Микромеханический акселерометр, содержащий корпус, инерционную массу, расположенную с зазором относительно корпуса и связанную с ним через упругую плоскопараллельную пластину из пьезоэлектрического материала, образующую упругий подвес, обеспечивающий перемещение инерционной массы, первый и второй ПАВ-резонаторы, первый и второй автогенераторы и смеситель, отличающийся тем, что упругая плоскопараллельная пластина выполнена в форме треугольника, одна сторона которого закреплена на корпусе, а противоположная ей вершина связана с инерционной массой.



 

Похожие патенты:
Наверх