Устройство для управления технологическим процессом фотолитографии, содержащее управляющую ЭВМ, блок управления технологическим процессом, датчики контроля положения исполнительных механизмов технологических модулей, клапаны исполнительных механизмов технологических модулей, отличающееся тем, что блок управления технологическим процессом содержит n блоков управления основными технологическими модулями и m блоков управления вспомогательными технологическими модулями, где n и m - число основных и вспомогательных технологических модулей, и блок управления транспортным механизмом, при этом каждый блок управления основным технологическим модулем выполнен на двух микроконтроллерах, соединенных между собой через интерфейс связи, при этом каждый из дискретных входов первого микроконтроллера соответственно соединен с выходом соответствующего датчика контроля положения исполнительного механизма технологического модуля, дискретные же выходы соединены со входами соответствующих клапанов исполнительных механизмов, а управляющие выходы второго микроконтроллера соединены со входами исполнительного элемента соответствующего технологического модуля, каждый блок управления вспомогательным технологическим модулем выполнен на одном микроконтроллере, аналогичном упомянутому первому, подключенном каждым своим дискретным входом к выходу соответствующего датчика контроля положения исполнительного механизма вспомогательного технологического модуля и дискретными выходами, соединенном со входами соответствующих клапанов исполнительных механизмов, кроме того, каждый первый микроконтроллер блоков управления технологическими модулями соединен через другой интерфейс связи с управляющей ЭВМ, подключенной через третий интерфейс связи к блоку управления транспортным механизмом.
