Устройство для определения наличия упругих деформаций в монокристаллических пластинах, содержащее средство для позиционирования контролируемой монокристаллической пластины и источник рентгеновского излучения со средством формирования пучка этого излучения, ориентированного с возможностью воздействия на контролируемую монокристаллическую пластину, размещенную в средстве для ее позиционирования, а также средство для регистрации интерференционной картины дифракции, отличающееся тем, что средство формирования пучка рентгеновского излучения для воздействия на контролируемую монокристаллическую пластину выполнено в виде формирующей сходящийся пучок фокусирующей рентгеновской линзы, установленной с возможностью расположения ее выходного фокуса внутри контролируемой монокристаллической пластины или с противоположной стороны по отношению к той, на которую падает указанный пучок, и с возможностью одновременного обеспечения дифракции для нескольких кристаллографических плоскостей, а средство для регистрации интерференционной картины дифракции содержит один или несколько позиционно-чувствительных детекторов рентгеновского излучения, установленных с возможностью приема дифрагированного излучения во всем диапазоне углов, содержащем интерференционные максимумы, соответствующие отражениям от кристаллографических плоскостей материала контролируемой монокристаллической пластины, имеющих вид nKK, где n равно H, K или L и неодинаково для разных кристаллографических плоскостей.
