Установка для выращивания монокристаллов

 

1. Установка для выращивания монокристаллов, содержащая камеру, тигель для загружаемого материала, приспособление для вытягивания монокристаллов, экран в виде усеченного конуса, меньшее основание которого обращено в сторону тигля, разделяющий рабочее пространство камеры над тиглем на внутреннюю и внешнюю полости, отличающаяся тем, что экран выполнен из плавленого кварца.

2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что у кромки большего основания экрана дополнительно выполнено смотровое окно.

3. Установка по пп.1 и 2, отличающаяся тем, что на большем основании экрана выполнены фиксаторы для размещения этого экрана на заданном расстоянии от поверхности расплава.

4. Установка по п.3, отличающаяся тем, что фиксаторы выполнены в виде опорных элементов, дискретно расположенных по кромке большего основания экрана.

5. Установка по пп.1-4, отличающаяся тем, что смотровое окно выполнено прямоугольной формы.

6. Установка по пп.1-5, отличающаяся тем, что смотровое окно выполнено квадратным.



 

Похожие патенты:
Наверх