Плавильное устройство для выращивания монокристалла кремния из расплава

 

1. Плавильное устройство для выращивания монокристаллов кремния из расплава, состоящее из кварцевого тигля, размещенного в графитовой подставке, жестко закрепленной на штоке, отличающееся тем, что подставка выполнена составной в виде верхнего и нижнего дисков и обечайки, установленных соосно друг другу, при этом верхний диск, имеющий больший диаметр, чем нижний, выполнен с возможностью фиксации по отношению к нижнему диску и тиглю с обечайкой, нижний диск закреплен на штоке, а обечайка сформирована и зафиксирована вокруг тигля.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве материала обечайки использована фольга из тонко расщепленного графита.



 

Похожие патенты:
Наверх