|
1. Установка для резки пластин из полупроводниковых материалов на “ЧИП”ы, которая включает: станину; средства возвратно-поступательного перемещения обрабатываемой пластины по оси координат “X”, ортогональной координатной системы отсчета (КСО) “X”, “Y”, “Z”, “р” установки; средства возвратно-поступательного перемещения режущего инструмента (который выполнен в виде одиночного абразивного круга с внешней режущей кромкой) по оси координат “Y”, включающие двигатель и шпиндель, функционально являющийся установочным средством для вышеуказанного режущего инструмента, обеспечивающим возможность пространственной ориентации плоскости последнего вдоль оси “X” ортогонально плоскости “Х,Y” КСО установки; средства осуществления поворота обрабатываемой пластины на заданный угол по координате “р” в плоскости параллельной плоскости “Х,Y” КСО установки, которые включают предметный стол для установки пластины с предварительно нанесенной на ее поверхность (по дорожкам разделения этой пластины на “ЧИП”ы) визуально воспринимаемой сеткой; средства возвратно-поступательного перемещения по оси координат “Z”, а также систему управления установки, включающую системный блок, видеоконтрольное устройство и устройство визуалиазации регистрируемой упомянутым видеоконтрольным устройством оптической информации (со сформированной на устройстве визуализации системой юстировки), связанные с соответствующими средствами перемещения установки посредством блока управления, отличающаяся тем, что видеоконтрольное устройство выполнено в виде двух телевизионных компьютерных микроскопов (ТКМ), установленных вдоль оси “Y” КСО установки на заданном расстоянии относительно центра вращения предметного стола с возможностью исключения вибрационного взаимодействия с динамическими узлами установки и используемых для последовательного визуального отображения упомянутыми ТКМ на устройстве визуализации регистрируемой в их поле зрения оптической информации в виде периферийных отрезков одной из дорожек разделения пластины на “ЧИП”ы, при этом устройство визуализации коммуникационно связано обратной связью посредством блока управления системы числового программного управления (ЧПУ) установки с каждым из ТКМ с возможностью согласования и обработки информации (формируемой в поле зрения последних) относительно сформированной на экране устройства визуализации системы юстировки в виде прямой линии с фиксированной на ней реперной точкой (координатно адаптированными с проекциями режущей кромки инструмента и осью поворота предметного стола, соответственно, на его установочную поверхность) согласованной с КСО установки по заданному алгоритму, кроме того средства возвратно-поступательного перемещения по оси координат “Z” размещены с возможностью осуществления кинематической связи непосредственно с режущим инструментом, а кинематическая система вышеупомянутого установочного средства для режущего инструмента выполнена с использованием опор качения, размещенных в этой кинематической системе с возможностью обеспечения предварительного натяга, при этом, по меньшей мере, все упомянутые средства перемещения инструмента, включая его установочное средство, размещены на антивибрационной основе с возможностью исключения их вибрационного взаимодействия с упомянутым двигателем. 2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что оба ТКМ жестко закреплены на станине установки. 3. Установка по любому из пп.1 и 2, отличающаяся тем, что антивибрационная основа для размещения средств перемещения режущего инструмента, по меньшей мере, по координатам “Y” и “Z”, включая его установочное средство, выполнена из синтеграна. 4. Установка по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что кинематические системы вышеупомянутых средств перемещения по осям координат “X”, “Y”, “Z”, “р” установки выполнены с использованием опор качения, размещенных в этих кинематических системах с обеспечением предварительного натяга. 
|
