|
1. Микромеханический гироскоп, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала с закрепленными на ней неподвижными электродами гребенчатого электростатического датчика силы, датчика перемещений и вибропривода, инерционную массу, выполненную в виде пластины из кремния со сквозными отверстиями, расположенную с зазором относительно платы и связанную с ней через упругие перемычки с опорными элементами, обеспечивающие перемещение инерционной массы вдоль взаимно перпендикулярных пересекающихся осей, совпадающих с осями симметрии инерционной массы и лежащих в ее плоскости, генератор, электронную схему обработки сигналов, отличающийся тем, что инерционная масса выполнена в форме квадрата, на поверхности которого равномерно распределены сквозные отверстия, выполненные в форме прямоугольника, размеры диагонали которого не меньше удвоенной величины начального зазора между инерционной массой и платой, а упругие перемычки образуют первый и второй подвесы. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в инерционной массе выполнены сквозные прорези, внутри которых размещены упругие перемычки, образующие первый и второй подвесы. 3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что опорные элементы расположены в центральной части инерционной массы и выполнены в виде единого центрального опорного элемента. 4. Устройство по пп.1-3, отличающееся тем, что первый подвес содержит восемь упругих перемычек, попарно связанных одними концами через опорный элемент с корпусом, а другими концами - со средними частями упругих перемычек, образующих второй подвес. 5. Устройство по пп.1-3, отличающееся тем, что второй подвес содержит четыре упругие перемычки, расположенные параллельно сторонам инерционной массы, оба конца каждой из перемычек закреплены на инерционной массе. 6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подвижные электроды гребенчатого электростатического датчика силы, датчика перемещений и вибропривода расположены на боковых сторонах инерционной массы. 7. Устройство по пп.1-6, отличающееся тем, что инерционная масса, упругие перемычки, центральный опорный элемент, подвижные электроды гребенчатого электростатического датчика силы, датчика перемещений и вибропривода выполнены единым элементом методом анизотропного травления кремния. 
|
