|
1. Измерительно-испытательный комплекс для исследований в рентгеновском диапазоне излучения одновременно на нескольких аналитических установках, содержащий источник излучения, каналы транспортировки излучения к аналитическим установкам и аппаратуру аналитических установок, отличающийся тем, что в качестве источника излучения он содержит рентгеновскую трубку, по меньшей мере, один канал транспортировки излучения к аналитическим установкам содержит рентгеновскую линзу, установленную и выполненную с возможностью захвата части расходящегося излучения рентгеновской трубки и преобразования его в квазипараллельный пучок. 2. Комплекс по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, одна из аналитических установок, к которой транспортируется квазипараллельный пучок излучения, предназначена для проведения дифрактометрических исследований и содержит средство для размещения исследуемого образца и ориентации его относительно направления распространения квазипараллельного пучка, детектор излучения, дифрагированного на исследуемом образце, и средство для взаимного позиционирования детектора и исследуемого образца, а также подключенное к выходу детектора средство обработки и отображения информации. 3. Комплекс по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, одна из аналитических установок, к которой транспортируется квазипараллельный пучок излучения, предназначена для получения изображения внутренней структуры объекта и содержит средство для позиционирования объекта и детектор прошедшего через объект излучения со средствами визуализации и регистрации изображения. 4. Комплекс по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что, по меньшей мере, одна из аналитических установок, к которой транспортируется квазипараллельный пучок излучения, предназначена для проведения спектрометрических исследований и содержит рентгеновскую линзу, установленную и выполненную с возможностью фокусирования квазипараллельного пучка излучения, средство позиционирования исследуемого образца для совмещения требуемой его части с областью фокусирования рентгеновского излучения, детектор возбужденного в исследуемом образце излучения, подключенный к выходу детектора спектрометрический тракт и подключенное к выходу последнего средство обработки и отображения информации. 5. Комплекс по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, одна из аналитических установок, к которой транспортируется квазипараллельный пучок излучения, предназначена для осуществления рентгеновской литографии и содержит средство для размещения маски и установленное за ним средство для размещения подложки с нанесенным на ее поверхность слоем резиста. 6. Комплекс по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит рентгеновскую линзу, установленную и выполненную с возможностью захвата части расходящегося излучения рентгеновской трубки и его фокусирования, а также аналитическую установку, размещенную со стороны выходной фокусной области этой рентгеновской линзы и выполненную с возможностью позиционирования объекта исследования для совмещения требуемой его части с выходной фокусной областью этой рентгеновской линзы. 7. Комплекс по п.6, отличающийся тем, что аналитическая установка, размещенная со стороны выходной фокусной области указанной рентгеновской линзы, выполненной с возможностью захвата части расходящегося излучения рентгеновской трубки и его фокусирования, предназначена для проведения спектрометрических исследований и содержит детектор излучения, возбужденного в исследуемом образце, подключенный к выходу детектора спектрометрический тракт и подключенное к выходу последнего средство обработки и отображения информации. 8. Комплекс по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что рентгеновская трубка выполнена с микрофокусным анодом. 9. Комплекс по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что рентгеновская трубка выполнена с прострельным анодом. 10. Комплекс по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что рентгеновская трубка выполнена с вращающимся анодом. 11. Комплекс по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что рентгеновская трубка выполнена со сложным анодом. 12. Комплекс по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что рентгеновская трубка выполнена с вольфрамовым анодом. 13. Комплекс по любому из пп.10-12, отличающийся тем, что он дополнительно содержит, по меньшей мере, один монохроматор, установленный с возможностью выделения и отражения в направлении аналитической установки части квазипараллельного пучка, формируемого рентгеновской линзой, установленной и выполненной с возможностью захвата части расходящегося излучения рентгеновской трубки и преобразования его в квазипараллельный пучок. 
|
