Устройство для видеоизмерения толщины пленки

Устройство для измерения толщины пленки, нанесенной на часть подложки, включающее последовательно расположенные источник излучения и светоделительную пластину для разделения пучка излучения на два канала, в одном из которых расположен микрообъектив, а в другом - опорное зеркало, механизм перемещения подложки, фотоприемную камеру, расположенную на пути выхода излучения, при этом все элементы устройства расположены на общем основании, отличающееся тем, что в него введены ЭВМ, фотоприемная камера выполнена в виде матрицы пространственного разрешения, снабжена подвижным переходным кольцом и подключена к ЭВМ через USB порт.