1. Рентгеношаблон, имеющий металлический слой, выполненный в виде рисунка на прозрачной для УФ-излучения подложке, отличающийся тем, что в качестве металлического слоя использована система слоев Cr-Cu-Cr, покрытая слоями меди толщиной 5-10 мкм и свинца толщиной 25-30 мкм, а подложка является гибкой и прозрачной, по крайней мере, в одном из участков диапазоне длин волн в пределах от 10-5 до 4 102 нм.
2. Рентгеношаблон по п.1, отличающийся тем, что рисунок металлического слоя на подложке имеет вид сетки с шириной линии сетки 100-200 мкм.
3. Рентгеношаблон по п. 2, отличающийся тем, что рисунок сетки имеет квадратную или прямоугольную форму.
102 нм.