Устройство для обработки подложек

Авторы патента:

7 H01L21/00 -

 

Устройство для обработки подложек, содержащее корпус, ванну, вал с транспортирующим ротором, соединенным с приводами, механизм ориентации, состоящий из закрепленного на валу ориентатора и пневмоцилиндра, на штоке которого установлена планка, отличающееся тем, что ориентатор выполнен в виде коромысла образной формы с симметричными плечами, снабженного двумя подшипниками, которые закреплены на осях плеч коромысла и взаимодействуют с выступом упомянутой планки, выполненным в виде прямоугольного треугольника, вершина малого острого угла которого смещена от оси симметрии планки, проходящей через ось симметрии вала.



 

Похожие патенты:
Наверх