Первичный чувствительный элемент на поверхностных акустических волнах для измерения давления

Авторы патента:

7 G10K15/00 -

 

Первичный чувствительный элемент на поверхностных акустических волнах для измерения давления, отличающийся тем, что состоит из двух пьезоплат, на каждой из которых сформирован резонатор, расположенный в центре круглой мембраны, образованной вакуумплотным склеиванием упомянутых пьезоплат резонаторами внутрь.



 

Похожие патенты:
Наверх