Сдвоенный резонатор на поверхностных акустических волнах (пав) на одной пьезоплате


7 G10K15/02 -

 

1. Сдвоенный резонатор на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на одной пьезоплате, состоящий из двух резонаторных структур с отражающими решетками, расположенных под углом от 60 до 120 o одна относительно другой, отличающийся тем, что одна отражающая решетка одной резонаторной структуры наложена на одну отражающую решетку другой резонаторной структуры.

2. Сдвоенный резонатор на ПАВ по п.1. отличающийся тем, что наложенные друг на друга отражающие решетки выполнены в виде пересекающихся протравленных в пьезоплате канавок, причем дно каждой канавки имеет рельефную структуру, образованную травлением пересекающихся канавок.

3. Сдвоенный резонатор на ПАВ по п.1, отличающийся тем, что отражающие решетки выполнены в виде матрицы протравленных в пьезоплате отражающих углублений.

4. Сдвоенный резонатор на ПАВ по п.1, отличающийся тем, что отражающие решетки выполнены в виде матрицы металлических отражающих элементов на поверхности пьезоплаты.



 

Наверх