Автоматизированный манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин

Авторы патента:

7 B25J9/00 -

 

Автоматизированный манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин, содержащий основание, подвижный стол, установленный на основании, подъемник полупроводниковых пластин и поворотный механизм захвата, отличающийся тем, что он снабжен механизмом ориентации полупроводниковых пластин по базовому срезу.



 

Похожие патенты:
Наверх