|
1. Микромеханический гироскоп, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала с закрепленными на ней неподвижными электродами гребенчатого электростатического датчика силы и датчика перемещений, инерционную массу, выполненную в виде пластины из кремния со сквозными отверстиями, расположенную с зазором относительно платы и связанную с ней через упругие перемычки, обеспечивающие перемещение инерционной массы вдоль взаимно перпендикулярных пересекающихся осей, совпадающих с осями симметрии инерционной массы и лежащих в ее плоскости, генератор, электронную схему обработки сигналов, отличающийся тем, что инерционная масса выполнена в форме квадрата, а упругие перемычки образуют внутренний, промежуточный и наружный подвесы. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что внутренний подвес содержит четыре упругие перемычки, связанные одними концами с инерционной массой, а другими концами с серединами упругих перемычек, образующих промежуточный подвес. 3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что в инерционной массе выполнены четыре сквозные прорези от середины каждой стороны к ее геометрическому центру, внутри которых размещены упругие перемычки, соединяющие инерционную массу с серединами упругих перемычек, образующих промежуточный подвес. 4. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что промежуточный подвес содержит четыре упругие перемычки, образующие квадрат, стороны которого параллельны сторонам инерционной массы, а вершины, являющиеся концами упругих перемычек, закреплены на корпусе. 5. Устройство по пп.1-3, отличающееся тем, что наружный подвес содержит четыре упругие перемычки, расположенные параллельно сторонам инерционной массы, оба конца каждой из перемычек закреплены на корпусе, а их середины связаны с серединами упругих перемычек, образующих промежуточный подвес, через подвижные электроды гребенчатого электростатического датчика силы и датчика перемещений. 6. Устройство по пп.1 и 5, отличающееся тем, что электроды гребенчатого электростатического датчика силы и датчика перемещений размещены по разные стороны инерционной массы в направлении ее осей симметрии. 
|
