Устройство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность изделия

Авторы патента:

7 C23C14/34 -

 

1. Устройство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность изделия, содержащее вакуумную камеру, испарительную систему, включающую цилиндрический элемент из наносимого материала, установленный неподвижно в вакуумной камере, средства для фиксации изделия внутри вакуумной камеры соосно цилиндрическому элементу из наносимого материала и механизм возвратно-поступательного перемещения вдоль оси цилиндрического элемента из наносимого материала с реверсивным приводом, отличающееся тем, что испарительная система дополнительно содержит размещенные вне вакуумной камеры последовательно оптически связанные между собой импульсный лазер и установленные на механизме возвратно-поступательного перемещения последовательно вдоль оптической оси, совпадающей с осью цилиндрического элемента из наносимого материала, преобразователь цилиндрического пучка излучения импульсного лазера в пучок кольцевого сечения и фокусирующую систему, оптически сопряженную через оптическое окно, которым снабжена вакуумная камера, с боковой поверхностью цилиндрического элемента из наносимого материала, при этом механизм возвратно-поступательного перемещения снабжен датчиком положения кольцевой зоны фокусировки лазерного излучения относительно внутренней поверхности изделия, выход которого соединен с входом дополнительно введенного блока управления мгновенной скоростью перемещения кольцевой зоны фокусировки лазерного излучения по боковой поверхности цилиндрического элемента из наносимого материала в зависимости, обратно пропорциональной площади кольцевого участка внутренней поверхности изделия, который находится напротив соответствующей кольцевой зоны фокусировки лазерного излучения, выход которого соединен с управляющим входом реверсивного привода.

2. Устройство для нанесения покрытия на внутреннюю поверхность изделия, содержащее вакуумную камеру, испарительную систему, включающую цилиндрический элемент из наносимого материала, установленный неподвижно в вакуумной камере, средства для фиксации изделия внутри вакуумной камеры соосно цилиндрическому элементу из наносимого материала и механизм возвратно-поступательного перемещения вдоль оси цилиндрического элемента из наносимого материала с реверсивным приводом, отличающееся тем, что испарительная система дополнительно содержит размещенные вне вакуумной камеры последовательно оптически связанные между собой импульсный лазер, снабженный блоком управления частотой следования импульсов излучения, и установленные на механизме возвратно-поступательного перемещения последовательно вдоль оптической оси, совпадающей с осью цилиндрического элемента из наносимого материала, преобразователь цилиндрического пучка излучения импульсного лазера в пучок кольцевого сечения и фокусирующую систему, оптически сопряженную через оптическое окно, которым снабжена вакуумная камера, с боковой поверхностью цилиндрического элемента из наносимого материала, при этом механизм возвратно-поступательного перемещения снабжен датчиками положения кольцевой зоны фокусировки лазерного излучения относительно внутренней поверхности изделия и скорости ее осевого перемещения, выходы которых соединены соответственно с первым и вторым входами блока управления частотой следования импульса излучения.



 

Похожие патенты:
Наверх