1. Микромеханический акселерометр, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала с напыленными на ней неподвижными электродами емкостного датчика угла и электростатического датчика момента, инерционную массу, выполненную в виде кремниевой пластины, подвешенной с зазором на плате в виде маятника на упругих перемычках с опорными элементами, которые образуют упругий подвес с осью подвеса, лежащей в плоскости инерционной массы, электронную схему обработки сигналов, отличающийся тем, что неподвижные электроды емкостного датчика угла и электростатического датчика момента выполнены единым элементом.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что инерционная масса, упругие перемычки и опорные элементы выполнены единым элементом методом анизотропного травления кремния.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что кремниевая пластина выполнена в форме прямоугольника, на поверхности которого равномерно распределены сквозные отверстия, выполненные в форме прямоугольника, размеры диагонали которого не меньше удвоенной величины начального зазора между инерционной массой и неподвижными электродами емкостного датчика угла и электростатического датчика момента.
