|
1. Устройство для измерения силы, содержащее основание с элементами крепления, силовоспринимающий элемент, состоящий из центрального выступа и поперечной части, непосредственно соединенный своей поперечной частью с основанием в виде унитарной конструкции и имеющий толщину в 5 и более раз меньшую, чем толщина основания, и по крайней мере два тензорезистора, расположенные вблизи области сопряжения центрального выступа силовоспринимающего элемента с его поперечной частью и размещенные на диэлектрической подложке, жестко закрепленной на поверхности силовоспринимающего элемента, отличающееся тем, что части основания, расположенные с обеих сторон центрального выступа силовоспринимающего элемента, соединены между собой жесткой перемычкой, толщина которой близка к толщине основания, размещенной за пределами силовоспринимающего элемента с зазором от него со стороны его поперечной части, при этом элементы крепления основания расположены по одну сторону от силовоспринимающего элемента, а нижние поверхности жесткой перемычки и другой половины основания, не имеющей элементов крепления, выполнены с углублением по отношению к опорной поверхности основания. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что части основания, расположенные с обеих сторон центрального выступа силовоспринимающего элемента, соединены между собой двумя жесткими перемычками, расположенными со стороны центрального выступа и поперечной части силовоспринимающего элемента с зазором от них. 3. Устройство по любому из пп.1 и 2, отличающееся тем, что на верхней поверхности основания имеется углубление по крайней мере с одной стороны от силовоспринимающего элемента. 4. Устройство по любому из пп. 1-3, отличающееся тем, что на конце тонкого центрального выступа силовоспринимающего элемента имеется выступ высотой близкой к толщине основания с отверстием вдоль оси симметрии центрального выступа. 5. Устройство по любому из пп. 1-4, отличающееся тем, что на силовоспринимающем элементе ближе к его поперечной части имеется дополнительное технологическое отверстие. 6. Устройство по любому из пп. 1-5, отличающееся тем, что на диэлектрической подложке дополнительно размещен не чувствительный к деформации и чувствительный к температуре резистор из гетероэпитаксиального кремния или другого материала. 7. Устройство по любому из пп. 1-6, отличающееся тем, что на верхней поверхности основания за пределами силовоспринимающего элемента размещен коллектор из диэлектрического материала с металлизированными проводниками. 
|
