1. Устройство для управления электронно-лучевой напылительной установкой, содержащее источник питания электронной пушки, вакуумную камеру, электронную пушку, испаряемую мишень и протягивающий пленку барабан, соединенный с расположенным вне камеры редуктором, входной вал которого связан с валом электродвигателя, подключенного к выходу преобразователя, снабженного входом управления, отличающееся тем, что введен датчик интенсивности испарения мишени и инерционное корректирующее звено, выход которого подключен ко входу управления преобразователя, а вход - к выходу датчика интенсивности испарения мишени, соединенного с электронной пушкой.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что датчик интенсивности испарения мишени выполнен в виде блока умножения и датчиков тока и напряжения электронной пушки, входы которых соединены с выходом источника питания электронной пушки, а выходами - ко входам блока умножения, соединенного своим выходом со входом инерционного корректирующего звена.
