Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования

Авторы патента:


 

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологического оборудования. Техническая задача состоит в том, чтобы создать устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, обеспечивающее возможность обработки всей подложки на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл. Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижную основу, выполненную в виде полого цилиндра, внутри которого установлены пьезоприводы с зондами и вращающийся подложкодержатель, выполненный в виде цилиндра, согласно предложенной полезной модели, снабжено шаговым электродвигатлем и упругой винтовой пружиной, связанной с вращающимся подложкодержателем, на поверхности упругой винтовой пружиной прикреплены пьезокерамические пластины, электрически связанные между собой, упругая винтовая пружина связана с валиком шагового электродвигателя, пьезоприводы с зондами установлены внутри неподвижной основы по винтовой линии таким образом, что расстояния между ближайшими зондами в проекции на плоскость не превышают 10 мм. Размещение в устройство перемещения для нанотехнологического оборудования пьезоприводов с зондами внутри неподвижной цилиндрической основы по винтовой линии позволяет обработать с всю подложку на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл. Наличие упругой винтовой пружиной обеспечивает высокую точность обработки.

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологического оборудования.

Известно устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижное основание с закрепленным на нем пьезоприводами, на которых установлены зонды, электрически взаимодействующие с подложками [Патент РФ 40550; МПК H02M 2/00, B82B 3/00, 10.09.2004 (аналог)].

Известная конструкция не позволяет обрабатывать всю подложку на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому техническому результату является устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижное основание с закрепленным на нем пьезоприводами, на которых установлены зонды, электрически взаимодействующие с подложками, средство, обеспечивающим круговое перемещение подложек [Патент РФ 40551, H02N 2/00, B81C 1/00, 10.09.2004 (прототип)].

Известная конструкция также не позволяет обрабатывать всю подложку на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл.

Техническая задача, на решение которой направлена заявляемая полезная модель состоит в том, чтобы создать устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, обеспечивающее возможность обработки всей подложки на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл.

Поставленная техническая задача решается тем, что устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижную основу, выполненную в виде полого цилиндра, внутри которого установлены пьезоприводы с зондами и вращающийся подложкодержатель, выполненный в виде цилиндра, согласно предложенной полезной модели, снабжено шаговым электродвигатлем и упругой винтовой пружиной, связанной с вращающимся подложкодержателем, на поверхности упругой винтовой пружиной прикреплены пьезокерамические пластины, электрически связанные между собой, упругая винтовая пружина связана с валиком шагового электродвигателя, пьезоприводы с зондами установлены внутри неподвижной основы по винтовой линии таким образом, что расстояния между ближайшими зондами в проекции на плоскость не превышают 10 мм.

Размещение в устройство перемещения для нанотехнологического оборудования пьезоприводов с зондами внутри неподвижной цилиндрической основы по винтовой линии позволяет обработать с всю подложку на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл. Наличие упругой винтовой пружиной обеспечивает высокую точность обработки.

Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показан вид устройства перемещения для нанотехнологического оборудования сбоку.

Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования содержит неподвижную цилиндрическую основу 1, пьезоприводы с зондами 2, вращающийся цилиндрический подложкодержатель 3, упругую винтовую пружину 4, на поверхности которой прикреплены пьезокерамические пластины, электрически связанные между собой (на фиг. 1 не показаны), шаговый электродвигатель 5.

Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования работает следующим образом.

При подаче напряжения на шаговый электродвигатель 5 с одновременной подачей напряжения на пьезоприводы с зондами 2 происходит вращение цилиндрического подложкодержателя 3, при этом зонды пьезоприводов 2, взаимодействуя с подложкой на цилиндрическом подложкодержателе 3, осуществляют технологический процесс. Упругая винтовая пружина 4 с пьезокерамическими пластинами осуществляет более точное позиционирование цилиндрического подложкодержателя 3 за счет юстировки положения шагового двигателя 5.

Предложенная полезная модель позволяет с высокой точностью обрабатывать подложку на цилиндрическом подложкодержателе за один технологический цикл за счет предложенной установки внутри неподвижной цилиндрической основы устройства пьезоприводов с зондами по винтовой линии.

Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижную основу, выполненную в виде полого цилиндра, внутри которого установлены пьезоприводы с зондами и вращающийся подложкодержатель, выполненный в виде цилиндра, отличающееся тем, что устройство снабжено шаговым электродвигателем и упругой винтовой пружиной, связанной с вращающимся подложкодержателем, на поверхности упругой винтовой пружиной прикреплены пьезокерамические пластины, электрически связанные между собой, упругая винтовая пружина связана с валиком шагового электродвигателя, пьезоприводы с зондами установлены внутри неподвижной основы по винтовой линии таким образом, что расстояния между ближайшими зондами в проекции на плоскость не превышают 10 мм.

РИСУНКИ



 

Похожие патенты:
Наверх