1. Микрофлюидное устройство для проведения гибридизации малых количеств нуклеиновых кислот в циркулирующем потоке, включающее микроканалы для ввода и вывода раствора олигонуклеотидов, гибридизационную камеру, на внутренних стенках которой нанесен массив олигонуклеотидных зондов, и насосную камеру, одной из стенок которой является тонкий слой эластичного полимера, прилегающий к пьезоэлектрической пластинке, с нанесенными двумя электродами, одним из которых является упругая металлическая мембрана, жестко скрепленная с пластинкой, при этом гибридизационная и насосная камеры находятся в единой полимерной матрице и соединены двумя микроканалами через клапаны, пропускающие жидкость последовательно через обе камеры только в одном направлении.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что гибридизационная камера выполнена в виде полости, на одну из внутренних стенок которой нанесен двумерный массив одинаковых по форме и площади областей, содержащих олигонуклеотидные зонды.
3. Устройство по п.1 отличающееся тем, что гибридизационная камера выполнена в виде микроканала постоянной ширины, на одну из стенок которого нанесен одномерный массив одинаковых по форме и площади областей, содержащих олигонуклеотидные зонды.
4. Устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что массив одинаковых по форме и площади областей, содержащих олигонуклеотидные зонды, нанесен на две или более стенок гибридизационной камеры.
5. Устройство по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что клапаны представляют собой полость с запирающей сферической частицей.
6. Устройство по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что пьезоэлектрическая пластинка и упругая металлическая мембрана, жестко скрепленная с пластинкой, имеют форму круга.