Масс-спектрометрический анализатор газового течеискателя

 

1. Масс-спектрометрический анализатор газового течеискателя, содержащий вакуумную камеру с присоединительными фланцами, внутри которой размещены: источник ионов пробного газового вещества, состоящий из источника электронов и камеры ионизации; магнитная система, обеспечивающая разделение ионов по массам; приемник ионов, отличающийся тем, что в качестве источника электронов использован плазменный катод, выполненный на основе плазмы тлеющего разряда.

2. Масс-спектрометрический анализатор п.1, отличающийся тем, что в качестве плазменного катода использована помещенная в аксиальное магнитное поле ячейка Пеннинга с эмиттером электронов, выполненным в виде щели для формирования ленточного электронного пучка в антикатоде ячейки, со стороны камеры ионизации.

3. Масс-спектрометрический анализатор по п.2, отличающийся тем, что в центральной части анода ячейки Пеннинга выполнены отверстия для "подкачки" остаточного газа из вакуумной камеры.

4. Масс-спектрометрический анализатор по пп.2 и 3, отличающийся тем, что дополнительно содержит установленный напротив выходного окна камеры ионизации отражающий электрод, находящийся под потенциалом плазменного катода (виртуальный катод), обеспечивающий отражение (осцилляции) поставляемых от плазменного катода электронов.

5. Масс-спектрометрический анализатор по п.4, отличающийся тем, что в качестве отражающего электрода использована металлическая пластина, или второй плазменный катод, или нить накаливаемого термокатода, установленные симметрично плазменному катоду с противоположной стороны камеры ионизации и создающие отражающее электроны.

6. Масс-спектрометрический анализатор по п.1, отличающийся тем, что корпус вакуумной камеры выполнен в виде моноблока с присоединительными фланцами, а приемник ионов и источник ионов установлены на присоединительных фланцах, на кронштейнах.

7. Масс-спектрометрический анализатор по п.1, отличающийся тем, что источник и приемник ионов пробного газового вещества расположены в межполюсном зазоре постоянных магнитов из NeFeB с напряженностью магнитного поля от 0,01 до 1,00 Тл.

8. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пробного газового вещества использован гелий 4He+;

9. Масс-спектрометрический анализатор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пробного газа использован любой газ, на который настроены величины магнитного поля и ускоряющего ионы напряжение.



 

Похожие патенты:

Дистанционный обнаружитель течи внутренних и наружных водопроводных сетей и водопроводов относится к средствам диагностики водопроводных сетей и предназначен для обнаружения начала разрушения больших магистральных водоводов и последующего их ремонта.
Наверх