1. Частотный микромеханический акселерометр, содержащий чувствительный элемент, состоящий из подвижной инерционной массы, упругого элемента и основания, а также систему возбуждения и съема частотного сигнала, при этом чувствительный элемент выполнен из единой пластины, разделенной сквозными пазами на основание, инерционную массу с упругим элементом, соединенным с основанием и инерционной массой с возможностью изменения изгибной жесткости упругого элемента при перемещении инерционной массы под действием измеряемого ускорения, отличающийся тем, что подвижная инерционная масса закреплена, по меньшей мере, на одной паре расположенных напротив друг друга упругих элементов, которые выполнены в виде балок, их свободные концы закреплены на основании, а центры прикреплены к инерционной массе, при этом каждая балка выполнена с предварительным прогибом в ее центре в направлении перемещения инерционной массы, а величина предварительного прогиба находится в диапазоне от 1/2h до 2h, где h - геометрический размер балки в направлении ее прогиба.
2. Частотный микромеханический акселерометр по п.1, отличающийся тем, что подвижная инерционная масса закреплена на двух парах расположенных напротив друг друга упругих элементов.
3. Частотный микромеханический акселерометр по п.1, отличающийся тем, что для чувствительного элемента из карбида кремния использована электростатическая система возбуждения и оптическая система съема частотного сигнала.
Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к области приборостроения, и может найти применение в инерциальных системах подвижных объектов, в автопилотах авиа и судомоделей, в системах безопасности транспортных средств
