Измерительное устройство для нанотехнологий
Полезная модель относится к области электроники, а более конкретно к измерительным устройствам для нанотехнологий.
Техническая задача, на решение которой направлена предложенная полезная модель, состоит в том, чтобы повысить точность измерения перемещения зонда.
Поставленная техническая задача решается тем, что измерительное устройство для нанотехнологий, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на торце пьезопривода, и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено источником гамма-излучения, установленном на торце пьезопривода, поглотителем гамма-излучения, расположенным на нерабочей поверхности подложки и последовательно связанный со счетчиком, пересчетной схемой, схемой сравнения и генератором постоянной частоты, причем пьезопривод, неподвижная платформа, подложка с подложкодержателем и неподвижным основанием расположены в замкнутом объеме.
Применение предложенного измерительного устройства для нанотехнологий позволяет повысить точность измерения перемещения зонда и обнаружить величину перемещения пьезопривода в пределах
10-10÷10-9 м.
Полезная модель относится к области электроники, а более конкретно к измерительным устройствам для нанотехнологий.
Известно измерительное устройство для нанотехнологий, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на торце пьезопривода, и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием. [Коротков В.П., Тайц Б.А. «Основы метрологии и теории точности измерительных устройств». Москва: «Издательство стандартов, 1978 г. 352 с., стр.161-163 (аналог)]
Недостатком аналога является низкая точность измерения перемещения зонда.
Наиболее близким по технической сущности и достигнутому результату является измерительное устройство для нанотехнологий, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на торце пьезопривода, и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием. [Александров Е.В., Домась К.И., Ивашов Е.Н., Мисюк Р.В., Пак М.М., Панов А.В. «Измерительное устройство для нанотехнологий» Пат. РФ на ПМ 
42697; кл. 7 H01J 37/28, Бюл. 34 от 10.12.2004, (прототип)]
Недостатком прототипа также является низкая точность измерения перемещения зонда.
Техническая задача, на решение которой направлена предложенная полезная модель, состоит в том, чтобы повысить точность измерения перемещения зонда.
Поставленная техническая задача решается тем, что измерительное устройство для нанотехнологий, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на торце пьезопривода, и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено источником гамма-излучения, установленном на торце пьезопривода, поглотителем гамма-излучения, расположенным на нерабочей поверхности подложки и последовательно связанный со счетчиком, пересчетной схемой, схемой сравнения и генератором постоянной частоты, причем пьезопривод, неподвижная платформа, подложка с подложкодержателем и неподвижным основанием расположены в замкнутом объеме.
Введение в измерительное устройство для нанотехнологий источника гамма-излучения, установленном на торце пьезопривода, поглотителя гамма-излучения, расположенным на нерабочей поверхности подложки и последовательно связанным со счетчиком, пересчетной схемой, схемой сравнения и генератором постоянной частоты, а также расположение пьезопривода, неподвижной платформы, подложки с подложкодержателем и неподвижного основания в замкнутом объеме позволяет повысить точность измерения перемещения зонда и обнаружить величину перемещения пьезопривода в пределах 10-10÷10-9 м.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где изображено измерительное устройство для нанотехнологий.
Измерительное устройство для нанотехнологий фиг.1, содержащее пьезопривод 1, жестко связанный с неподвижной платформой 2, зонд 3, закрепленный на торце 4 пьезопривода 1, и связанный с подложкой 5, установленной на подложкодержателе 6, жестко связанным с неподвижным основанием 7, источником 8 гамма-излучения, установленном на торце 4 пьезопривода 1, поглотителем 9 гамма-излучения, расположенным на нерабочей поверхности 10 подложки 5 и последовательно связанный со счетчиком 11, пересчетной схемой 12, схемой сравнения 13 и генератором 14 постоянной частоты, причем пьезопривод 1, неподвижная платформа 2, подложка 5 с подложкодержателем 6 и неподвижным основанием 7 расположены в замкнутом объеме 15.
Измерительное устройство для нанотехнологий работает следующим образом.
При работе пьезопривода 1, меняется положение зонд 3 относительно подложки 5, гамма-излучение от источника 8 проходит через специальный поглотитель 9 и попадает на счетчик 11, установленный вне замкнутого объема 15
При выбранной паре источник 8 и поглотитель 9 скорость счета возрастает, когда пьезопривод 1 двигается от поглотителя 9, и падает при движении пьезопривода 1 к поглотителю. Скорость счета постоянно сравнивается с числом импульсов от генератора 14 постоянной частоты с помощью схемы 13
Предложенное измерительное устройство для нанотехнологий работает на основе эффекта Мессбауэра. Достаточно изменить энергию гамма-кванта на одну триллионную часть, как резонансное поглощение или рассеяние исчезает.
Применение предложенного измерительного устройства для нанотехнологий позволяет повысить точность измерения перемещения зонда и обнаружить величину перемещения пьезопривода в пределах
10-10÷10-9 м.
Измерительное устройство для нанотехнологий, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на торце пьезопривода и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанном с неподвижным основанием, отличающееся тем, что дополнительно снабжено источником гамма-излучения, установленным на торце пьезопривода, поглотителем гамма-излучения, расположенным на нерабочей поверхности подложки и последовательно связанным со счетчиком, пересчетной схемой, схемой сравнения и генератором постоянной частоты, причем пьезопривод, неподвижная платформа, подложка с подложкодержателем и неподвижным основанием расположены в замкнутом объеме.
