Устройство для формирования изображения

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования изображения.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования уменьшенного изображения шаблона.

Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для формирования изображения, содержащем источник света, асферическое коллекторное зеркало, плоское отражающее зеркало, проекционный объектив, подложку, согласно предложенной полезной модели, источник света выполнен в виде лазерного источника электромагнитного излучения, поверхность асферического коллекторного зеркала и поверхность плоского отражающего зеркала выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев молибдена и кремния, проекционный объектив выполнен двухзеркальным и включает большое вогнутое зеркало с центральным отверстием и малое выпуклое зеркало, поверхности большого вогнутого зеркала и малого выпуклого зеркала выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев молибдена и кремния, устройство дополнительно снабжено вакуумной камерой и средством откачки.

Технический результат, достижение которого обуславливается реализацией всей заявляемой совокупностью признаков, Введение в состоит в том, что обеспечивается возможность формирования устройством уменьшенного изображения топологии шаблона.

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования изображения топологий.

Известно устройство формирования изображения, содержащее источник света, собирающее асферическое коллекторное зеркало, плоское отклоняющее зеркало, маску фотошаблон и проекционный объектив [Журнал технической физики, 2005, том 75, выпуск 5. Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном ультрафиолете (обзор). Р.Сейсян. Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, 19402 Санкт-Петербург, Россия].

Недостатком аналога является невозможность формирования уменьшенного изображения шаблона.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования изображения, содержащее источник света, собирающее асферическое коллекторное зеркало, плоское отклоняющее зеркало, маску фотошаблон и проекционный объектив [Журнал САПР и графика, март 2009. Второе дыхание 193-нм литографии или особенности 32-нм техпроцесса].

Недостатком прототипа также является невозможность формирования уменьшенного изображения шаблона.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования уменьшенного изображения шаблона.

Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для формирования изображения, содержащем источник света, асферическое коллекторное зеркало, плоское отражающее зеркало, проекционный объектив, подложку, согласно предложенной полезной модели, источник света выполнен в виде лазерного источника электромагнитного излучения, поверхность асферического коллекторного зеркала и поверхность плоского отражающего зеркала выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев молибдена и кремния, проекционный объектив выполнен двухзеркальным и включает большое вогнутое зеркало с центральным отверстием и малое выпуклое зеркало, поверхности большого вогнутого зеркала и малого выпуклого зеркала выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев молибдена и кремния, устройство дополнительно снабжено вакуумной камерой и средством откачки.

Технический результат, достижение которого обуславливается реализацией всей заявляемой совокупностью признаков, Введение в состоит в том, что обеспечивается возможность формирования устройством уменьшенного изображения шаблона.

Сущность полезной модели поясняется рисунком, где на фиг.1 показано устройство для формирования изображения. Фиг.1 содержит следующие позиции:

1 - образец

2 - слой фоторезиста, нанесенный на образец;

3 - подложка;

4 - асферическое коллекторное зеркало;

5 - плоское отражающее зеркало;

6 - маску - фотошаблон

7 - проекционный объектив;

8 - лазерный источник электромагнитного излучения;

9, 10 - чередующиеся слои молибдена и кремния на поверхности асферического коллекторного зеркала;

11, 12 - чередующиеся слои молибдена и кремния на поверхности плоского отражающего зеркала;

13 - большое вогнутое зеркало;

14 - малое выпуклое зеркало;

15, 16 - чередующиеся слои молибдена и кремния на поверхности большого вогнутого зеркала;

17, 18 - чередующиеся слои молибдена и кремния на поверхности малого выпуклого зеркала;

19 - вакуумная камера;

20 - средство откачки.

Устройство для формирования изображения содержит подложку 3, источник света 8, асферическое коллекторное зеркало 4, плоское отражающее зеркало 5, проекционный объектив 7. Источник света 8 выполнен в виде лазерного источника электромагнитного излучения. Поверхности асферического коллекторного зеркала 4 и плоского отражающего зеркала 5 выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев 9, 10, 11, 12 молибдена (Мо) и кремния (Si). Проекционный объектив 7, выполнен двухзеркальным. Он включает большое вогнутое зеркало 13 с центральным отверстием и малое выпуклое зеркало 14. Поверхности зеркал 13 и 14 выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев 15, 16, 17, 18 молибдена (Мо) и кремния (Si). Устройство дополнительно снабжено вакуумной камерой 19 и средством откачки 20.

Устройство для формирования изображения (фиг.1) работает следующим образом.

Лазерный источник 8 обеспечивает генерацию электромагнитного излучения, которое отражается от чередующихся четвертьволновых слоев асферического коллекторного зеркала 4, а затем от плоского отражающего зеркала 5, и сфокусированным пучком попадает на маску-фотошаблон 6. Проходя маску-фотошаблон 6, сфокусированный пучок лазера переносит изображение, содержащее структуру топологии, на малое выпуклое зеркало 14, проекционного объектива 7. Малое выпуклое зеркало 14 отражает падающее излучение таким образом, что оно, попадая на большое вогнутое зеркало 13 с центральным отверстием проекционного объектива 7, фокусируется на размещенном на подложке 3 образце 1, экспонируя фоторезист 2. Отражение от многослойных зеркал 4, 5, 13, 14 возможно благодаря тому, что малая часть падающего излучения отражается от каждой пары слоев молибдена и кремния (Mo-Si), причем толщина слоя в четверть волны подобрана так, чтобы отраженные волны при интерференции складывались. Процесс проходит в вакуумной камере 19 с поддержанием необходимого разряжения средством откачки 20.

Применение предлагаемого устройства для формирования изображения позволяет обеспечить возможность формирования уменьшенного изображения шаблона топологии.

Устройство для формирования изображения, содержащее источник света, асферическое коллекторное зеркало, плоское отражающее зеркало, проекционный объектив, подложку, отличающееся тем, что источник света выполнен в виде лазерного источника электромагнитного излучения, поверхность асферического коллекторного зеркала и поверхность плоского отражающего зеркала выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев молибдена и кремния, проекционный объектив выполнен двухзеркальным и включает большое вогнутое зеркало с центральным отверстием и малое выпуклое зеркало, поверхности большого вогнутого зеркала и малого выпуклого зеркала выполнены многослойными в виде чередующихся четвертьволновых слоев молибдена и кремния, устройство дополнительно снабжено вакуумной камерой и средством откачки.