Нанотехнологическое устройство для выполнения операций

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам для выполнения операций. В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм (4·10^-12÷5·10 ^-9 м). Поставленная техническая задача, решается тем, что в нанотехнологи-ческом устройстве для выполнения операций, содержащем неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезосканера установлен источник рентгеновского излучения с фокусирующими линзами, выполненными в виде фокусирующих элементов - углеродных нанотрубок и фуллере-нов, размещенных в свинцовой матрице, причем углеродные нанотрубки размещены в каналах свинцовой матрицы в количестве не менее десяти углеродных нанотрубок в одном канале, а фуллерены расположены внутри углеродных нанотрубок в количестве не менее 10³ в одной углеродной нанотруб-ке. Кроме того, свинцовая матрица выполнена с диаметром d каждого канала равным 1,5÷2 нм, длиной L каждого канала равной 7,5÷8 мкм, и расстояние D между каналами по осям не менее двух диаметров канала. Кроме того, каждая углеродная трубка имеет длину 750÷800 нм. Предложенная конструкция устройства обеспечивает возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм(4·10^-12÷5·10 ^-9 м).

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам для выполнения операций.

Известно нанотехнологическое устройство для выполнения операций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, подложкодержатель с установленной на нем подложкой [Патент РФ на ПМ 40537, кл. 7 H01L 37/02, 10.09.2004, Бюл. 25, (аналог)].

Недостатком аналога является невозможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм (4·10^-12÷5·10 ^-9 м).

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство для выполнения операций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой [Патент РФ на ПМ 41933, кл. 7 H02N 2/00, 10.11.2004, Бюл. 31].

Недостатком прототипа также является невозможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм (4·10^-12÷5·10 ^-9 м).

В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм (4·10^-12÷5·10 ^-9 м).

Поставленная техническая задача, решается тем, что в нанотехнологи-ческом устройстве для выполнения операций, содержащем неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезосканера установлен источник рентгеновского излучения с фокусирующими линзами, выполненными в виде фокусирующих элементов - углеродных нанотрубок и фуллере-нов, размещенных в свинцовой матрице, причем углеродные нанотрубки размещены в каналах свинцовой матрицы в количестве не менее десяти углеродных нанотрубок в одном канале, а фуллерены расположены внутри углеродных нанотрубок в количестве не менее 10³ в одной углеродной нанотрубке.

Кроме того, свинцовая матрица выполнена с диаметром d каждого канала равным 1,5÷2 нм, длиной L каждого канала равной 7,5÷8 мкм, и расстояние D между каналами по осям не менее двух диаметров канала.

Кроме того, каждая углеродная трубка имеет длину 750÷800 нм.

Предложенная конструкция устройства обеспечивает возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм (4·10^-12÷5·10 ^-9 м).

Сущность полезной модели поясняется рисунками, где на фиг.1 показано нанотехнологическое устройство для выполнения операций, на фиг.2 свинцовая матрица в разрезе.

Нанотехнологическое устройство для выполнения операций (фиг.1) содержит неподвижную платформу 1, закрепленный на ней пьезосканер 2, на котором установлен источник излучения 3, подложкодержатель 4 с установленной на нем подложкой 5. На торце 6 пьезосканера 2 установлен источник рентгеновского излучения 7 с фокусирующими линзами 8, выполненными в виде фокусирующих элементов - углеродных нанотрубок 9 и фуллеренов 10. Фуллерены 10 расположены внутри углеродных нанотрубок 9, а сами трубки 9 в каналах 11 свинцовой матрицы 12 (фиг.2). Диаметр каналов 11 свинцовой матрицы d равен 1,5÷2 нм, количество фуллеренов 10 не менее 10³ в одной углеродной нанотрубке 9, длина одной углеродной нанотрубки 9 составляет 1750÷800 нм, количество углеродных нанотрубок 9 не менее десяти в одном канале 11 свинцовой матрицы 12. Длина L каждого канала 11 составляет 7,5÷8 мкм, а расстояние D между каналами по осям не менее двух диаметров канала, то есть 3÷4 нм.

Нанотехнологическое устройство для выполнения операций работает следующим образом. От источника 7 (фиг.1) подается рентгеновское излучение на фокусирующие линзы 8, которое фокусируется, проходя через систему нанотрубок 9 с расположенными в них фуллеренами 10. Фокусировка рентгеновского излучения осуществляется линзой, имеющей двояко - вогнутый профиль, получаемый за счет двух соседних фуллеренов 10 внутри углеродных нанотрубок 9 (фиг.2). Количество углеродных нанотрубок 9 не менее 10 в одном канале 11 синцовой матрицы 12 и количество фуллеренов 10 в одной углеродной нанотрубке 9 не менее 10³, обусловлено тем, что коэффициент преломления рентгеновских лучей близок к единице и отличается от нее на 10^-5-10^-7 .

Применение предполагаемого нанотехнологического устройства для выполнения операций обеспечивает возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны =4 пм ÷ 5 нм (4·Ю^-12÷5·Ю ^-9 м).

1. Нанотехнологическое устройство для выполнения операций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой, отличающееся тем, что на торце пьезосканера установлен источник рентгеновского излучения с фокусирующими линзами, выполненными в виде фокусирующих элементов - углеродных нанотрубок и фуллеренов, размещенных в свинцовой матрице, причем углеродные нанотрубки размещены в каналах свинцовой матрицы в количестве не менее десяти углеродных нанотрубок в одном канале, а фуллерены расположены внутри углеродных нанотрубок в количестве не менее 10³ в одной углеродной нанотрубке.

2. Нанотехнологическое устройство для выполнения операций по п.1, отличающееся тем, что свинцовая матрица выполнена с диаметром d каждого канала, равным 1,5÷2 нм, длиной L каждого канала, равной 7,5÷8 мкм, и расстоянием D между каналами по осям не менее двух диаметров канала.

3. Нанотехнологическое устройство для выполнения операций по п.1, отличающееся тем, что каждая углеродная трубка имеет длину 750÷800 нм.