1. Интерферометрический тензодатчик плазменного напыления, содержащий генератор, выход которого подключен ко входам контрольного и измерительного плечей, выходы которых соединены со входом приемника сигналов, отличающийся тем, что измерительное плечо выполнено в виде послойно напыленных диэлектрика и проводника.
2. Интерферометрический тензодатчик плазменного напыления по п.1, отличающийся тем, что слой проводника измерительного плеча снабжен защитным диэлектрическим слоем.
3. Интерферометрический тензодатчик плазменного напыления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что поверх защитного диэлектрического слоя измерительного плеча напылен экранирующий слой проводника, боковые участки которого выполнены с возможностью контактирования с металлической поверхностью контролируемого объекта.
4. Интерферометрический тензодатчик плазменного напыления по п.1, отличающийся тем, что измерительное плечо снабжено подложкой из проводящего материала с возможностью контактирования с диэлектрической поверхностью контролируемого объекта.
