Устройство бесконтактного контроля нестационарности микрообъектов


6 G01H1/14 -

 

Устройство бесконтактного контроля нестационарности микрообъектов, содержащее последовательно установленные на общей оптической оси импульсный источник когерентного излучения, снегоделитель пучка электромагнитного излучения, контролируемый образец, а также светоотражающее зеркало, приемник сигналов когерентного излучения и канал считывания обработанных сигналов, отличающееся тем, что оно снабжено блоком управления и модулятором когерентного излучения, подключенными к импульсному источнику когерентного излучения, модулятором фазы когерентного опорного пучка, связанным с отражающим зеркалом, и дополнительным источником излучения, выполненным в виде лазера непрерывного зондирования, оптическая ось которого через систему светоотражающих зеркал связана с контролируемым образцом и каналом считывания обработанных сигналов, выполненным в виде последовательно соединенных блока сравнения, аналого-цифрового преобразователя, блока накопления сигналов и регистрирующего прибора.



 

Похожие патенты:
Наверх