Устройство для получения покрытий из газовой фазы

 

1. Устройство для получения покрытий из газовой фазы на наружной поверхности изделий, содержащее реакционную камеру, систему электронагрева изделия, приспособление-спутник, узел для ввода исходного химсоединения и отвода продуктов реакции, механизм перемещения приспособления-спутника, а также систему вакуумной откачки, отличающееся тем, что узел для ввода исходного химсоединения выполнен в виде расположенного с боку камеры перестраиваемого по форме обрабатываемой поверхности изделия щелевого термостатируемого испарителя с дозаторами, система электронагрева изделия выполнена в виде наружных нагревателей по форме обрабатываемой поверхности изделия и устанавливаемого внутри изделия выдвижного внутреннего нагревателя, а механизм перемещения приспособления-спутника выполнен в виде установленных внутри реакционной камеры спаренных приводных катковых опор.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено направляющими потока газообразного химсоединения, установленными в испарителе напротив его щели.



 

Похожие патенты:
Наверх