Устройство для лазерного напыления и исследования тонких пленок

Устройство для лазерного напыления и исследования тонких пленок, содержащее герметичную рабочую камеру с измерителем параметров пленок, окно для подачи лучевой энергии, мишень и держатель подложки, установленный с возможностью возвратно-поступательного и вращательного движений, отличающееся тем, что герметичная рабочая камера снабжена дополнительной герметичной камерой, в которой размещены упомянутые мишень, держатель подложки выполненное окно для подачи лучевой энергии, при этом между рабочей и дополнительной камерами имеется отверстие, перекрываемое подвижной шторкой.