Вакуумная напылительная установка на крупногабаритные плоские подложки, содержащая вакуумную камеру, внутри которой установлены откачные средства, устройство газонапуска, устройство для очистки подложек, напылительные устройства, устройство транспортировки подложек, шлюзовые устройства, а также систему управления, отличающаяся тем, что система управления выполнена в виде компьютерного комплекса ввода и обработки технологической информации, включающего процессор, накопитель информации и блоки отображения информации, а также интерфейсную плату и блоки преобразования сигналов, вакуумная камера выполнена в виде последовательно сочлененных вертикальных щелевых проходных камер, первая из которых - загрузки-выгрузки, вторая - камера напыления, на одной стенке которой расположены протяженный ионный распылитель магнетронного типа на постоянном токе, высокочастотный протяженный ионный распылитель магнетронного типа, первый протяженный ионный источник для очистки, а на противоположной стенке установлены протяженный катодо-плазменный распылитель, второй протяженный ионный источник для очистки, устройство газонапуска и датчик толщины напыляемых покрытий, стенки камеры выполнены разборными, третья - камера разогрева подложек включает источник плазменного тлеющего разряда регулируемой мощности, при этом каждая из камер отделена от другой шлюзовым затвором, устройство транспортировки подложек выполнено в виде челнока-держателя подложек с возможностью перемещения сквозь все камеры в сканирующем режиме, причем входы всех технологических блоков соединены с входами блоков преобразования сигналов.
