1. Установка для ионного напыления, содержащая цилиндрическу вакуумную камеру с фланцами и патрубком для подачи газа, а также источник ионизации, расположенный вне камеры, отличающаяся тем, что установка снабжена манипулятором и дополнительным патрубком с резиновым рукавом, герметично закрытым с одной стороны, при этом манипулятор выполнен в виде стержня и размещен в камере, патрубке и рукаве, а источник ионизации представляет собой УВЧ-генератор.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что фланцы выполнены съемными и снабжены с одной стороны рисками прямоугольного сечения.
