Для изменения свойств объектов или для нанесения тонких слоев на них, например ионное внедрение (H01J37/317)

H Электричество(11368)

H01 Основные элементы электрического оборудования(4684)

H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы (искровые разрядники H01T; дуговые лампы с расходуемыми электродами H05B; ускорители элементарных частиц H05H) (378)

H01J37 Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J33,H01J40,H01J41,H01J47,H01J49 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B21)(41)

H01J37/317 Для изменения свойств объектов или для нанесения тонких слоев на них, например ионное внедрение (H01J37/36 имеет преимущество)(1)

Атомный нанолитограф // 128941

Наверх